7.35微米窄带滤光片制造技术

本实用新型专利技术提供了一种７．３５微米红外窄带滤光片，它是以硅为基板，硒化锌，碲化铅为膜层材料，采用真空蒸镀制备的干涉滤光片。膜系设计采用波形系数良好，高级次半波层的三半波膜系。滤光片成品为外径φ１２毫米，厚０．８毫米的圆片，除主峰外全部波段范围截止深度优于０．５％，本实用新型专利技术适于批量生产，成品率高。产品光学性能及膜层牢固度满足使用要求，特别适合于环境ＳＯ↓［２］监测钢铁硫含量等分析仪器。（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学
，涉及一种除透镜以外的光学部件，是一种选择所需红外光谱的滤光片。红外分析仪是利用气体红外特征吸收峰测定气体含量的仪器，选择特定波长的红外气体分析滤光片无疑是红外气体分析仪的关键部件。现红外分析仪以其快速、精度高的特点已广泛应用于化工、环保、钢铁、医学、军工等部门。由于SO2气体在7.35微米波长处具有一较强特征吸收光谱，通过探测气体对选择7.35微米波长滤光片红外光谱的衰减可推算其含量。本技术的目的是提供一种中心波长为7.35微米的红外窄带滤光片。本技术通过以下技术方案实现1、以表面抛光φ12×0.8mm的硅作基片；2、镀层介质材料选用硒化锌和碲化铅，在基板的二个面上分别真空蒸镀多层干涉薄膜。3、第一面膜系采用ns/LH4LHLLH4LHLHLH4LH2L/no；第二面膜系采用ns/0.58[L2HL2]6L[LHL]4/no]]>式中各符号的含义分别为ns表示硅基板；L表示硒化锌的λo/4层，H表示碲化铅的λo/4层；中心波长λo为7.35微米；no表示空气。本技术的附图说明如本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滤光片，在基板的二个面上分别蒸镀多层介质膜组成，其特征为：ａ．基板（１）为表面抛光直径φ１２毫米，厚０．８微米的硅材料；ｂ．镀层介质膜材料选用硒化锌（３）及碲化铅（２），在真空镀膜机中交替蒸镀多层干涉膜；ｃ．第一面膜系用： ｎ↓［Ｓ］／ＬＨ４ＬＨＬＨＬＨ４ＬＨＬＨＬＨ４ＬＨ２Ｌ／ｎ↓［Ｏ］；第二面膜系采用：＊＊＊排列式中各符号的含义分别为：ｎ↓［Ｓ］代表硅基板，Ｌ代表硒化锌的λ↓［Ｏ］／４层，Ｈ代表碲化铅的λ↓［Ｏ］／４层，中心波长λ↓［Ｏ］为７ ．３５微米，ｎ↓［Ｏ］表示空气。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：严义埙，朱玲心，张麟，黄泳宝，张素英，张文德，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]