６，５微米红外长波通滤光器制造技术

本实用新型专利技术以聚氧硅为基片，选用锗，硒化锌，硫化锌为镀膜材料，采用真空中蒸镀多层干涉膜，膜系设计采用双面反射堆叠加而成，具有通带区域透射率高，波纹小，成品率高的特点，生产外径为７６毫米和１０１毫米的厚度为１毫米，０．５毫米等不同规格高稳定性的６．５微米红外长波通滤光器，产品可再进一步成型切割，经受自动化生产线的振动和摩擦，可作为光学元件广泛应用于红外报警器和光自动化开关用红外传感器中。（*该技术在1999年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
,5微米红外长波通滤光器的制作方法
本技术属于光学领域，特别涉及除透镜以外的光学元件，是一种干涉滤光器。随着红外技术和应用的不断发展，大量用于防盗报警和光电自动开关的传感器也随之发展，各类红外传感器都需要有一个能有效地摄取人体发射的红外辐射，同时抑制人体辐射波段以外的干扰辐射的高性能低价格的红外长波通滤光器，并且希望能适应在传感器的大规模自动生产线上应用。国际市场上的这类滤光器，通常是选用价格昂贵的无氧硅作为基板，以锗／硫化锌作为薄膜材料，由于硫化锌的沉积速率对基底的温度极为敏感，工艺中必须要有较高的膜厚控制精度和基底温度控制精度，生产投资就高得多，故产品价格也较昂贵。本技术的目的在于提供价格低廉的性能稳定可靠的.5微米长波通滤光器。本技术.5微米红外长波通滤光器，以硅材料为基片，真空蒸镀上多层介质膜组成，其特征在于基板以聚氧硅为材料，介质膜材料分别选用锗，硒化锌和硫化锌，由锗／硒化锌，锗／硫化锌二组三种材料分别在基板的正面和背面上蒸镀多层干涉薄膜；薄膜系统采用周期膜系作为反射堆，并在反射堆两侧引入适当的修正膜层的设计；在正面上D0.77(HL1.3H)0.77(L／2 H L／本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外滤光器，以硅材料为基片，真空蒸镀上多层介质膜组成，其特征在于：ａ）基板３以聚氧硅为材料；ｂ）介质膜材料分别选用锗，硒化锌和硫化锌，由锗／硒化锌，锗／硫化锌二组三种材料分别在基板３的正面１和背面２上蒸镀多层干涉膜；ｃ）薄膜 系统采用周期对称膜系并引入修正膜层作为反射堆，其排列为：在正面１上；ＤＯ．７７（ＨＬ１．３Ｈ）０．７７（Ｌ／２ＨＬ／２）↑［８］（Ｌ／２ＨＬ／２）↑［８］０．２Ｌ１．４Ｈ２．２１在背面２上：ＬＤ１．３Ｈ０．２３（Ｌ／２ＨＬ／２） ↑［９］０．２９（Ｌ／２ＨＬ／２）↑［９］０．３８（Ｌ／２ＨＬ／２）↑［９］０．５（Ｌ／２ＨＬ／...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许士荣，张文德，严义埙，张凤山，许步云，朱龄心，曹永良，徐青，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]