一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关，属于微机械领域，其特征是它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极以及用来固定光纤的Ｖ形槽构成。镜子悬挂于弯曲梁，随弯曲梁运动，梁处于稳定态时，镜子也处于稳定态，开关稳定性好，和集成电路工艺兼容，适于大批量生产。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种弯曲梁微机械光开关，尤其是能自动掉电保护。属于微机械领域。1×1，1×2，2×2的光开关及由它组成的开关阵列在光通讯系统中将有极大的应用价值。2×2的光开关可以作为N×N光开关阵列的基本单元。现在已有利用Si腐蚀形成的微镜，在叉指驱动或静电驱动下，微镜产生微位移，使光处于通过状态(开状态)或反射状态(关状态)，从而实现2光路的通断和交换。但已有的此类光开关，往往存在一个问题在开状态或关状态，驱动装置的电压无法解除，否则微镜将自动回到不须驱动的状态。在微机械系统中，栓锁问题是一个难题。在实际应用中，需要在掉电时，开关能保持在掉电前的状态，实现掉电保护。出于安全的考虑，希望器件的驱动电压只在驱动时存在，器件处于稳定工作状态时，无驱动电压。本技术的目的在于提供一种具有自动掉电保护功能的微机械光开关。本技术的目的是这样实现的利用拱高远小于梁长的弯曲的梁和轴向受压梁所具有的双稳态，使开关的开关状态各自对应一个稳定态。从而实现微镜稳定工作时，开关的状态无须外力保持。一弯曲的梁，受到横向的指向曲率中心的足够大的力作用后，可到其对称的另一侧，并在外加的横向力撤除后，梁不回到初始状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关，其特征在于：（１）它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极、以及用来固定光纤的Ｖ形槽构成的；（２）弯曲梁锚点把弯曲梁固定在基底，弯曲梁平行基底并悬空；（３）镜子悬挂于弯曲梁，随弯曲梁 运动；梁处于稳定态时，镜子也处于稳定态；（４）平面电极一侧是固定在基底上，和弯曲梁的侧面形成平面电极驱动机构；（５）叉指电极不动部分通过叉指电极不动部分的固定锚点固定在基底上，叉指电极动的部分，与镜子一起悬挂于弯曲梁；（６）４个 用于固定光纤的Ｖ形槽和镜子成４５度角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王浙辉，王东平，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海冶金研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]