下载一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关的技术资料

文档序号:2688672

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本实用新型涉及一种自动掉电保护的弯曲梁微机械光开关,属于微机械领域,其特征是它由弯曲梁锚点、弯曲梁、镜子、平面电极或叉指电极以及用来固定光纤的V形槽构成。镜子悬挂于弯曲梁,随弯曲梁运动,梁处于稳定态时,镜子也处于稳定态,开关稳定性好,和集成...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。

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