二维动态数显式自准直仪制造技术

本实用新型专利技术属于光学检测技术领域。适用于同时测量二维位移量的数显式自准直仪。本实用新型专利技术把现有的一维自准直仪中的十字型分划板，改为三角型分划板。在半透膜立方棱镜和双刻线分划板之间安装一个分光镜，分光镜反射像处有一ＣＣＤ接收器，ＣＣＤ接收器连接电子测量装置。电子测量装置对ＣＣＤ接收器的信息进行控制和数据处理。由于采用三角型分划板和一维ＣＣＤ接收器，提高了测量精度，同时使结构简化，测量响应速度加快，具有结构简单、成本低、易实现等优点。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学检测
，是一种改进的自准直仪，特别适用于同时测量二维位移量的数显式自准直仪。国内现在使用较普遍的是一种用手动测量的自准直仪。这种自准直仪靠目视观测，测量的位移是一维空间量。如果测量另一方向的角度量，必须在这一方向上重新调整仪器，这样的测量，得出的数据重复性差，且费时。老式自准直仪在测量过程中，会引入人为测量误差及机械空回误差。为了克服一维自准直仪在测量两个方向位移量时，二次调整仪器引起的重复性误差的缺点，美国、英国的几家大公司已先后研制出能同时测量二维角位移量的数显式自准直仪。但这些自准直仪所用的接收器都是二维传感器，系统结构复杂，相应的造价昂贵。本技术的目的是提供一种用一线CCD接收器件同时测量二维角位移量，实现数字自动显示的自准直仪。普通的自准直仪，光源通过聚光镜，照亮十字型分划板，十字型分划板的十字像经半透膜立方棱镜射向物镜组，经物镜组后成一束平行光投射到安放在被测件上的平面反射镜，平行光束经反射镜反射后又射回物镜组，此时的平行光束进入物镜后形成一束聚合光，经半透膜立方棱镜反射，反射光聚焦在双刻线分划板上，即十字线型分划板上的十字像在双刻线分划板上，通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维动态数显式自准直仪，包括有光源（１），聚光镜（２），分划板（３），半透膜立方棱镜（４），物镜组（５），反射镜（６），双刻线分划板（８），目镜（９）等，其特征是所述的分划板（３）上有一不透光的等腰三角形；在半透膜立方棱镜（４）和双刻线分划板（８）之间安装有分光镜（７）；在分光镜（７）反射像点处有一ＣＣＤ接收器（１０），ＣＣＤ接收器（１０）连接有电子测量装置（１１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：贺庚贤，龙科慧，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]