【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光应用领域,特别是激光光路预对准器。
技术介绍
对于一个光学系统,其中包含着许多光学器件,例如透镜、偏振分光棱镜、隔离器、光栅、各种试验晶体以及光纤等等。激光由光源出射后进入光学系统,光路中所有的光学器件都会激光光束的传播方向造成不同程度的影响,影响的程度取决于各个光学器件的光轴相对于激光光束光轴的相对位置(横向x,y,俯仰Rx,Ry)。这种影响会严重地降低整个系统的技术性能,甚至导致系统无法实现其设计功能。所以,在光学系统搭建的过程中需要对每一个光学元件进行对准。通常将系统中的各个器件分别固定于精密调准装置之上,按照一定的次序(校准的次序因实际系统的不同而异)分别对各个光学元件进行校准。因为光路中的各个光学器件是位于三维空间中,如果直接将光学器件置于调准装置之上进行精调准,我们不但要考虑光学器件各个维度的方向和位置相对于激光光束的相对关系,而且还要考虑到调准装置各个维度的方向和位置相对于激光光束的相对关系。再加之大多数调节装置的各个维度的调节范围都是有限地,多维度大范围地对准调节是一件相当繁琐和耗时的工作,尤其对于那些光学器件较多而且精度要求 ...
【技术保护点】
一种激光光路预对准器,其特征在于:在一段具有一定长度的中空直管的两端分别设置一个十字叉丝,十字叉丝位于透明玻璃的表面,进光端玻璃透明,出射端为毛玻璃;两十字叉丝中心的连线与直管的轴线平行。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘畅,
申请(专利权)人:上海微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]
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