下载激光光路预对准器的技术资料

文档序号:2674113

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本发明涉及激光应用领域,特别是激光光路预对准器。它是在一段具有一定长度的中空直管的两端分别设置一个十字叉丝,十字叉丝位于透明玻璃的表面,进光端玻璃透明,出射端为毛玻璃;两十字叉丝中心的连线与直管的轴线平行。或是在一段具有一定长度的中空直管的...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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