【技术实现步骤摘要】
一种微小产品抓取装置
本专利技术涉及负压抓取设备领域，具体涉及一种微小产品抓取装置。
技术介绍
微小产品的抓取一直是微电子产业为代表的工业领域的一个重要技术环节。利用负压技术，在产品表面产生低于大气压的局部负压场，就可以在产品上形成升力，从而实现对产品的吸取，以完成后续的转运等操作。微小产品的抓取技术伴随着微电子产业的发展而发展，发展出了多种技术来完成相应的产品的抓取，有代表性的技术为负压抓取、物理夹取、静电吸取、电磁吸取等，其中负压抓取由于适用面宽、可靠性高、对产品的损伤小等优点，得到了大量的应用。针对越来越小的微小产品尺寸，特别是亚毫米的产品的抓取，对负压抓取技术的要求也越来越高，其中最主要的技术问题包括：一是吸头的尺寸为了与产品相匹配，因此其尺寸特别是吸头上吸孔的尺寸必须越来越小；二是由于吸孔越来越少因此吸头与微小产品之间的有效距离越来越近，这要求在吸头工作时，吸头与产品的上表面的平行度要求越来越高，否则由于温度变化、振动引起的位移形变等会导致吸头的表面在长期工作后发生偏转，从而导致吸取失效或吸头压坏产品。这些...
【技术保护点】
1.一种微小产品抓取装置，其特征在于，包括数据处理模块、负压腔(2)、方位调整器和吸头；所述负压腔(2)的上端设置有抽气口(1)，并与外部抽气设备相连；/n所述方位调整器包括空心柱(5)、中间分别设置有通孔的顶盖(4)和底座(7)；所述空心柱(5)的上端与顶盖(4)的内侧相连接，所述顶盖(4)的上表面外侧与负压腔(2)相连接；所述空心柱(5)的下端与底座(7)的内侧相连接，所述底座(7)与顶盖(4)之间设置有至少两个长度调整器(6)，所有长度调整器(6)与空心柱(5)的中心不在同一直线上；/n所述吸头包括与底座(7)下表面外侧相连接的空腔腔壁(8)，所述空腔腔壁(8)的下端...
【技术特征摘要】
1.一种微小产品抓取装置，其特征在于，包括数据处理模块、负压腔(2)、方位调整器和吸头；所述负压腔(2)的上端设置有抽气口(1)，并与外部抽气设备相连；
所述方位调整器包括空心柱(5)、中间分别设置有通孔的顶盖(4)和底座(7)；所述空心柱(5)的上端与顶盖(4)的内侧相连接，所述顶盖(4)的上表面外侧与负压腔(2)相连接；所述空心柱(5)的下端与底座(7)的内侧相连接，所述底座(7)与顶盖(4)之间设置有至少两个长度调整器(6)，所有长度调整器(6)与空心柱(5)的中心不在同一直线上；
所述吸头包括与底座(7)下表面外侧相连接的空腔腔壁(8)，所述空腔腔壁(8)的下端设置有开口，开口的下端设置有表面突出空腔腔壁(8)的吸盘(10)，开口的上表面设置有压电传感器(11)，所述压电传感器(11)的上表面设置有绝缘压板(9)，所述绝缘压板(9)的上表面至底座(7)的下表面之间设置有压簧(12)；所述压电传感器(11)的中间设置有第一通风孔(16)，所述绝缘压板(9)的中间设置有第二通风孔(20)；
所述数据处理模块，分别与压电传感器(11)和长度调整器(6)连接。
2.根据权利要求1所述的微小产品抓取装置，其特征在于，所述吸盘(10)的下表面设置有镀金层。
3.根据权利要求1所述的微小产品抓取装置，其特征在于，所述吸盘(10)中孔径大于等于0.01mm且小于等于吸取物体尺寸的二分之一。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：高椿明，胡强，
申请(专利权)人：宁波积微速成智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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