【技术实现步骤摘要】
用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置
本技术涉及废气处理领域，尤其涉及一种用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置。
技术介绍
在半导体器件的制造过程中会排放出很多种类的废气，这些废气中不但含有甲硅烷易燃类气体，还含有氯气剧毒类气体以及大量极难处理且限制排放的温室气体。为了解决废气的排放，常用的技术手段包括电热分解法、燃气燃烧方式、等离子体方式以及吸附式。其中，所述等离子体方式包括：冲击、火花放电、核反应或电弧放电。所述等离子体方式处理废气所使用的等离子反应器包括：阳极组件和阴极组件，所述阳极组件包括阳极，所述阴极组件包括阴极，通常将高DC电压施加到所述阴极上，在所述阳极与阴极之间的空间产生电弧。所述等离子体方式处理废气的原理包括：当能够产生等离子体的气体(如：惰性气体或氮气)穿过所述电弧并加热到相当高的温度时，气体被离子化形成等离子体，而废气会被所述等离子体分解。现有等离子体反应器中的阴极组件除了包括阴极外，还包括其它部件，然而，所述其它部件与阴极之间通过焊接方式连接在一起，当所述阴...
【技术保护点】
1.一种用于等离子体发生装置的阴极组件，其特征在于，包括：/n阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，所述安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；/n第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于等离子体发生装置的阴极组件，其特征在于，包括：
阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，所述安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；
第一固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，用于固定所述阴极替换部。
2.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述第一固定件包括第一端和第二端，所述第一端与阴极替换部的外侧壁接触，所述第一固定件的中心到阴极替换部的中心具有第一距离；所述阴极组件还包括：第二固定件，置于所述安装孔内与阴极腔之间可拆卸连接，其一端与第一固定件的第二端接触，所述第二固定件的中心到阴极替换部的中心具有第二距离，所述第二距离大于第一距离。
3.如权利要求2所述的阴极组件，其特征在于，所述安装孔为螺纹孔，所述第一固定件和第二固定件为螺钉。
4.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极替换部的侧壁设有凹槽，所述第一固定件的端部插入所述凹槽内。
5.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述第一固定件的端部抵着所述阴极替换部的侧壁。
6.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极替换部具有通孔，所述第一固定件置于安装孔和通孔内。
7.如权利要求1所述的阴极组件，其特征在于，所述阴极冷却入口设于所述阴极腔的侧壁；所述阴极放置槽设有阴极腔的底部。
8.如权利要求1所述的阴极组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：张宜东，蔡珑元，尹志尧，
申请(专利权)人：中微惠创科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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