【技术实现步骤摘要】
旋转式气体吸附装置及其工作方法
[0001]本专利技术涉及气体处理领域,尤其涉及一种旋转式气体吸附装置及其工作方法。
技术介绍
[0002]在半导体领域和化工领域存在许多会产生挥发性有机气体(VOC)的生产工艺,如半导体领域中需要涂覆的光刻胶,化工领域中油漆的制造和喷涂中均会产生大量的VOC。这些气体气味难闻,而且大量吸入人体危害身体健康,所以需要及时的处理。但是由于这些气体在空气中浓度很低,部分领域只有约15ppm,甚至更低,必须浓缩后才能进一步的处理。
[0003]现有技术中最常见的是采用旋转式气体吸附装置,然而,利用现有的旋转式气体吸附装置由于脱附气体需要的温度较高,加热装置的能耗较大,不利于节能减排。
技术实现思路
[0004]本专利技术解决的技术问题是提供一种旋转式气体吸附装置及其工作方法,以降低旋转式气体吸附装置的能耗。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术提供一种旋转式气体吸附装置,包括:滚轮,可沿其周向转动,具有相对的吸附侧和脱附侧,用于吸附VOC气体;第一气体管道结构, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转式气体吸附装置,其特征在于,包括:滚轮,可沿其周向转动,具有相对的吸附侧和脱附侧,用于吸附VOC气体;第一气体管道结构,包括若干个隔离件,所述若干个隔离件将第一气体管道结构沿滚轮的转动方向依次分割为吸附区气体管道、脱附区气体管道、循环区气体管道和冷却区气体管道,所述吸附区气体管道用于向滚轮吸附侧输送包含VOC气体的气体,所述冷却区气体管道用于向滚轮吸附侧输送气体;加热装置,用于将气体加热成为脱附气体;第一隔板,位于所述滚轮脱附侧,所述第一隔板一侧将来自循环区气体管道的脱附气体输入加热装置,另一侧将加热装置输出的部分脱附气体流入所述循环区气体管道;待加热气体输送管道,用于将来自于冷却区气体管道的气体和循环区气体管道的脱附气体输送到加热装置;脱附气体输送管道,用于将加热所形成的脱附气体经所述滚轮输送至所述脱附区气体管道和循环区气体管道;吸附区输出管道,用于输出被滚轮吸附后形成的清洁气体;脱附区气体管道,用于输出经过所述滚轮的脱附气体。2.如权利要求1所述的旋转式气体吸附装置,其特征在于,若干隔离件包括第一隔离件、第二隔离件、第三隔离件和循环隔离件,所述循环隔离件与滚轮吸附侧连接,在循环隔离件与滚轮吸附侧之间形成容纳空间,所述容纳空间为循环区气体管道,所述第二隔离件与循环隔离件连接,第一隔离件与第二隔离件用于形成脱附区气体管道,所述第二隔离件与第三隔离件用于形成冷却区气体管道,所述第一隔离件与第三隔离件用于形成吸附区气体管道。3.如权利要求1所述的旋转式气体吸附装置,其特征在于,若干隔离件包括第一隔离件、第二隔离件、第三隔离件、第四隔离件和循环隔离件,所述第一隔离件和第二隔离件用于形成脱附区气体管道,第三隔离件和第四隔离件用于形成冷却区气体管道,所述循环隔离件与第二隔离件和第三隔离件形成循环区气体管道,所述第一隔离件与第四隔离件用于形成吸附区气体管道。4.如权利要求1所述的旋转式气体吸附装置,其特征在于,所述待加热气体输送管道包括第一管道和第二管道,所述第一管道用于将所述冷却区气体管道的气体输送至加热装置,所述第二管道用于将来自循环区气体管道的脱附气体输送至加热装置;所述第二管道的管壁作为第一隔板。5.如权利要求1所述的旋转式气体吸附装置,其特征在于,其特征在于,所述待加热气体输送管道为一个管道,所述待加热气体输送管道的管壁作为第一隔板。6.如权利要求5所述的旋转式气...
【专利技术属性】
技术研发人员:解延风,张宜东,宋淼松,
申请(专利权)人:中微惠创科技上海有限公司,
类型:发明
国别省市:
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