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一种用于等离子体发生装置的阴极组件及其等离子体发生装置，其中，阴极组件包括：阴极腔，包括阴极冷却入口、阴极放置槽和安装孔，安装孔设于阴极放置槽的外围，所述阴极冷却入口用于向所述阴极腔内输送冷却介质，所述阴极放置槽用于放置阴极替换部；第一固定...
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