电磁驱动位错型微机械可变光衰减器制造技术

电磁驱动位错型微机械可变光衰减器属于光纤通信领域。主要包括：电磁驱动线圈、底座、两段光纤、定位槽和、可动平台、磁性体和弹性体，光纤和分别固定在底座和可动平台上的定位槽中，可动平台与磁性体固定在一起，可动平台相对于底座上下或／和左右移动，底座与可动平台通过弹性体连接并调整上下位置，底座与电磁驱动线圈固定。本发明专利技术结构和光路简洁，易于实现阵列化封装；插入损耗低于１分贝，回波损耗高于６０分贝、动态范围大于５０分贝；波长相关性损耗小于０．２分贝，偏振相关性损耗小于０．２分贝，工作电压低于５伏，与现有集成电路的工作电压兼容；各部件都可用基本的集成电路工艺制作，实现低成本，大批量，自动化生产。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种光衰减器，特别是一种电磁驱动位错型微机械可变光衰减器，属于光纤通信领域。
技术介绍
近年来，随着光纤通信中全光网技术的发展，可变光衰减器正在得到越来越广泛的应用。全光网对可变光衰减器的体积、成本、功耗、调节性能等都提出了苛刻的综合性能要求。传统的机械式可变光衰减器由于体积大、成本高、响应速度慢等缺点，已不能满足全光网对光纤通信器件的要求。而基于集成电路工艺发展而来的微机械加工技术制作的可变光衰减器具有高性能、低成本、可大批量生产的优点，引起了国内外有关科研机构的普遍关注，经文献检索发现，B.Barber等人在《IEEE Photonics Technology Letters》(光电子技术快报)Vol.10，No.9，1262～1264，Sep.1998，撰文“A fiber connectorized MEMSvariable optical attenuator(光纤耦合的微机械可变光衰减器)”，该文介绍的微机械可变光衰减器包括底座、定位槽、光纤、挡光片、弹性体、静电驱动器；定位槽固定在底座上不动、两段光纤分别固定在定位槽上精密对准、中间有20微米的间隙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电磁驱动位错型微机械可变光衰减器，主要包括：电磁驱动线圈（１）、底座（２）、光纤（３）和（６）、定位槽（４）和（５）、可动平台（７）、磁性体（８）和弹性体（９），其特征在于光纤（３）和（６）分别固定在底座（２）和可动平台（７）上的定位槽（４）和（５）中，可动平台（７）与磁性体（８）固定在一起，底座（２）与可动平台（７）通过弹性体（９）连接，可动平台（７）可相对于底座（２）上下移动或／和转动，底座（２）与电磁驱动线圈（１）固定。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴旭涵，赵小林，蔡炳初，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]