一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，用于解决现有技术中样品停放装置功能单一、停放数量少、操作繁琐、停放台材料放气严重的技术问题；样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；实施本实用新型专利技术的技术方案，每个样品停放台可放置六个样品托，提高工作效率；通过弹片固定样品托，操作便捷；使用可调的弹片固定样品托，使装置适用不同类型的样品托；使用耐高温低蒸气压材料的弹片，减少放气；设置线性驱动器和旋转驱动器，样品托位置调节灵活。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置
本技术涉及超真空样品停放
，特别涉及一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置。
技术介绍
目前超高真空领域的样品停放装置均比较简单，一般只可停放1～2个样品托，功能单一，且传样不方便，进样和取样操作均比较繁琐，及其影响超高真空领域科研者做实验的效率，停放台支撑结构不牢靠，停放台材料放气严重，影响真空装置的真空度。因此需要一种支撑结构牢靠、样品托停放数量多、操作简单的样品停放装置。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术中披露了一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，本技术的技术方案是这样实施的：一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，包括：样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；所述样品停放台固定至所述支撑杆；所述支撑套筒密封连接至所述转接法兰，所述支撑杆密封连接至所述转接法兰；所述驱动装置密封连接至所述转接法兰的一端，连接至所述支撑杆；所述样品停放台包括主体、成对设置的固定端和弹片；所述弹片可拆卸式固定至所述固定端，所述固定端边缘设置凹槽；所述固定端的数量为两个以上；所述驱动装置包括线性驱动装置和旋转驱动装置；所述线性驱动装置驱动所述支撑杆沿所述转接法兰的轴向移动；所述旋转驱动装置驱动所述支撑杆绕所述转接法兰的轴向旋转；所述转接法兰的另一端固定至真空。所述适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，还包括限位块，所述限位块固定至所述支撑套筒内部；所述限位块设置支撑孔，所述支撑杆穿过所述支撑孔。优选地，所述限位块的材料为特氟龙。优选地，所述凹槽背离所述主体的一端设置倒角。优选地，分别位于相邻的两个固定端上相邻的两条凹槽设置为平行的。优选地，所述样品停放台的数量为大于一个的。优选地，所述弹片的材料为耐高温、低蒸气压的弹性金属材料，包括：铍铜、铁钴镍合金、镍铬合金、镍铬钼合金和蒙乃尔合金中的至少一者。优选地，所述旋转驱动器为磁耦合旋转器。实施本技术的技术方案可解决现有技术中样品停放装置功能单一、停放数量少、操作繁琐、停放台材料放气严重的技术问题；实施本技术的技术方案，每个样品停放台可放置六个样品托，提高工作效率；通过弹片固定样品托，操作便捷；使用可调的弹片固定样品托，使装置适用不同类型的样品托；使用耐高温低蒸气压材料的弹片，减少放气；设置线性驱动器和旋转驱动器，样品托位置调节灵活。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种具体实施方式的停放装置结构示意图；图2为本技术的一种具体实施方式的样品停放台结构示意图；图3为本技术的一种具体实施方式的弹片结构示意图。在上述附图中，各图号标记分别表示：1-样品停放台；2-支撑杆；3-支撑套筒；4-转接法兰；5-驱动装置；6-主体；7-固定端；8-弹片；9-凹槽；10-限位块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的一种具体实施方式中，一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，如图1、图2和图3所示，包括：样品停放台1、支撑杆2、支撑套筒3、转接法兰4和驱动装置5；样品停放台1固定至支撑杆2；支撑套筒3密封连接至转接法兰4，支撑杆2密封连接至转接法兰4；驱动装置5密封连接至转接法兰4的一端，连接至支撑杆2；样品停放台1包括主体6、成对设置的固定端7和弹片8；弹片8可拆卸式固定至固定端7，固定端7边缘设置凹槽9；固定端7的数量为六个；驱动装置5包括线性驱动装置和旋转驱动装置；线性驱动装置驱动支撑杆2沿转接法兰4的轴向移动；旋转驱动装置驱动支撑杆2绕转接法兰4的轴向旋转；转接法兰4的另一端固定至真空；分别位于相邻的两个固定端7上相邻的两条凹槽9设置为平行的。在该具体实施方式中，装置的整体可以使用不锈钢材质，使装置具有较高的结构强度。样品停放台1的平面设置为与支撑杆2的轴向垂直的，因此，旋转支撑杆2即可旋转旋转样品停放台1，使样品朝向不同方向。线性驱动装置通过支撑杆2驱动样品台沿着支撑杆2方向移动。线性驱动装置和旋转驱动装置相结合，可以改变样品的高度和朝向。样品停放台1通过两颗M3的顶紧螺丝固定至支撑杆2。转接法兰4的两端可以使用CF法兰，实现密封连接，使装置适用于高真空环境。支撑套筒3可以通过螺栓固定等可拆卸方式固定至转接法兰4。固定端7靠近主体6的一端宽度较小，背离主体6的一端宽度较大，每个弹片8通过三个螺丝固定至固定端7，弹片8的边缘与凹槽9形成插槽。相邻的两条插槽组合成一个样品托固定结构。用户可以根据样品托的规格、形状等参数选择合适的弹片8，使装置适用多种不同的样品托。主体6边缘均匀分布了六个固定端7，最多可以同时接受六个样品托，可以提高装置的工作效率。固定端7之间为镂空设计，可以降低样品停放台1的重量和体积，便于控制样品停放台1的位置，同时有利于减小真空腔的体积，也便于用户观察样品托停放状况。在一种优选的实施方式中，一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，如图1所示，还包括限位块10，限位块10固定至支撑套筒3内部；限位块10设置支撑孔，支撑杆2穿过支撑孔，限位块10的材料为特氟龙。设置特氟龙限位块10，可以稳定支撑杆2的方向，使样品在传递过程中不会发生晃动，利于提高装置的密封性，减少放气的发生。同时，特氟龙材料本身具有自润滑性，保证了支撑杆2旋转、移动时的顺滑性。在一种优选的实施方式中，如图2所示，凹槽9背离主体6的一端设置倒角，可以起到引导样品托插入凹槽9的作用。在一种优选的实施方式中，如图1所示，样品停放台1的数量为大于一个的。在该具体实施方式中，样品停放台1设置为两个，可最多同时接受12个样品。在一种优选的实施方式中，如图3所示，弹片8的材料为耐高温、低蒸气压的弹性金属材料，包括：铍铜、铁钴镍合金、镍铬合金、镍铬钼合金和蒙乃尔合金中的至少一者。当装置用于分子外延束等系统使，装在样品的样品托可能达到较高的温度，使用耐高温的弹性金属材料，可以防止弹片8接触样品过程中融化或损坏，延长弹片8寿命。使用低蒸气压的金属材料，可以使装置适用于超高真空环境，有利于避免金属材料在高温下导致的放气现象。在一种优选的实施方式中，如图1所示，旋转驱动装置为磁耦合旋转器。旋转驱动装置可以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，其特征在于，包括：样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；/n所述样品停放台固定至所述支撑杆；/n所述支撑套筒密封连接至所述转接法兰，所述支撑杆密封连接至所述转接法兰；/n所述驱动装置密封连接至所述转接法兰的一端，连接至所述支撑杆；/n所述样品停放台包括主体、成对设置的固定端和弹片；/n所述弹片可拆卸式固定至所述固定端，所述固定端边缘设置凹槽；/n所述固定端的数量为两个以上；/n所述驱动装置包括线性驱动装置和旋转驱动装置；/n所述线性驱动装置驱动所述支撑杆沿所述转接法兰的轴向移动；/n所述旋转驱动装置驱动所述支撑杆绕所述转接法兰的轴向旋转；/n所述转接法兰的另一端固定至真空。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，其特征在于，包括：样品停放台、支撑杆、支撑套筒、转接法兰和驱动装置；
所述样品停放台固定至所述支撑杆；
所述支撑套筒密封连接至所述转接法兰，所述支撑杆密封连接至所述转接法兰；
所述驱动装置密封连接至所述转接法兰的一端，连接至所述支撑杆；
所述样品停放台包括主体、成对设置的固定端和弹片；
所述弹片可拆卸式固定至所述固定端，所述固定端边缘设置凹槽；
所述固定端的数量为两个以上；
所述驱动装置包括线性驱动装置和旋转驱动装置；
所述线性驱动装置驱动所述支撑杆沿所述转接法兰的轴向移动；
所述旋转驱动装置驱动所述支撑杆绕所述转接法兰的轴向旋转；
所述转接法兰的另一端固定至真空。


2.根据权利要求1所述的一种适用于超高真空领域快速进样系统的样品停放装置，其特征在于，还包括限位块，所述限位块固定至所述支撑套筒内部；
所述限位块设置支撑孔，所述支撑杆穿过所述支撑孔。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：赵嘉峰，高筱，谢斌平，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32