高温烤箱置物架组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种高温烤箱置物架组件，包括料架骨架和多个托架，多个托架设置在料架骨架上，托架的材质为陶瓷。本实用新型专利技术的技术方案有效地解决了现有技术中半导体工件在高温处理过程中容易掺杂杂质，降低半导体质量和成品率的问题。

【技术实现步骤摘要】
高温烤箱置物架组件
本技术涉及半导体生产制造领域，具体涉及一种高温烤箱置物架组件。
技术介绍
半导体(Semiconductor)是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。随着信息化、智能化程度的提升，半导体的应用越来越广泛。在半导体设备生产制造的过程中，需要将半导体工件置于高温环境中加热处理，具体处理方式通常是将多个半导体工件放置在一个置物架上，再将置物架推入高温环境中，这样能够一次性处理多个工件，提高制造效率。但是在现有技术中，半导体工件在高温处理过程中容易掺杂杂质，影响半导体质量和成品率。
技术实现思路
本技术旨在解决现有技术中半导体工件在高温处理过程中容易掺杂杂质，降低半导体质量和成品率的问题。为解决上述问题，本技术提供了一种高温烤箱置物架组件，包括料架骨架和多个托架，多个托架设置在料架骨架上，托架的材质为陶瓷。进一步地，托架的材质为白陶瓷。进一步地，料架骨架包括至少一个单层置物架，当单层置物架为多个时，多个单层置物架可叠置，多个托架分布在单层置物架上。进一步地，单层置物架包括多个间隔设置的支脚和多个横梁，多个横梁设置在多个支脚之间，托架设置在横梁上。进一步地，横梁包括两个相对设置的第一横梁和两个相对设置的第二横梁，两个第一横梁和两个第二横梁呈矩形布置，支脚设置在相邻的第一横梁和第二横梁的连接处。进一步地，第一横梁包括连接杆和多个固定槽，连接杆连接在两个支脚之间，多个固定槽设置在连接杆上，两个第一横梁上的固定槽对应设置，托架的两端能够分别设置在相对的两个固定槽中。进一步地，支脚的一端设置有公端插头，支脚的另一端设置有母端插头，当单层置物架为多个时，相邻两个单层置物架中的一个单层置物架的支脚的公端插头能够伸入另一个单层置物架的支脚的母端插头，使两个单层置物架连接固定。进一步地，单层置物架还包括支撑件，支撑件设置在横梁上，当单层置物架为多个时，支撑件能够支撑在相邻两个单层置物架的对应的横梁之间。进一步地，料架骨架的材质为钢。实施本技术的实施例，将具有如下有益效果：陶瓷材质制成的托架在高温环境下依旧能够保持稳定，不会释放杂质。从而保证托架上的工件在高温制造工艺过程中不被污染，提高工件的成品率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：图1示出了根据本技术的高温烤箱置物架组件的实施例的结构示意图；以及图2示出了图1的高温烤箱置物架组件的侧视结构示意图；图3示出了图1的高温烤箱置物架组件的A处局部放大结构示意图；图4示出了图1的高温烤箱置物架组件的正视结构示意图；以及图5示出了图1的高温烤箱置物架组件的俯视结构示意图。上述附图中包含以下附图标记：10、托架；20、单层置物架；21、支脚；22、公端插头；23、母端插头；24、连接杆；25、固定槽；26、连接杆；27、支撑件；30、底层置物架；31、支脚。具体实施方式为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。附图中给出了本技术的较佳的实施例。但是，本技术可以通过许多其他不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。本实施例的高温烤箱置物架组件可以用于生产制造半导体的工艺流程中，具体可以应用在加热处理过程中，起到支撑放置半导体的作用。如图1所示，本实施例的高温烤箱置物架组件包括料架骨架和多个托架10，托架10设置在料架骨架上，可用于放置半导体工件。其中，托架10的材质为陶瓷。陶瓷材质制成的托架10在高温环境下依旧能够保持比较稳定的物理特性，不会向外释放杂质。应用本实施例的技术方案，托架10在高温环境下不会向外释放杂质，不会污染托架10上的半导体工件，提高半导体工件的成品率。优选地，本实施例的托架10的材质为白陶瓷。白陶瓷不易对置于托架10上的工件染色。如图1和图2所示，本实施例的料架骨架的材质为钢，具体包括四个单层置物架20和一个底层置物架30，四个单层置物架20可一一叠置在底层置物架30上，托架10分布在单层置物架20和底层置物架30上。这样分体式的高温烤箱置物架组件可以将待处理的半导体工件先置于底层置物架30上，再在底层置物架30上放置单层置物架20，再在单层置物架20放置待处理半导体工件，再放置单层置物架20，以此类推，最后将放置好待处理半导体工件的高温烤箱置物架组件整体置入加热设备，方便操作。在图中未示出的其他实施例中，单层置物架的数量可以根据需要进行调整，以适应不同规格的加热设备。如图1所示，本实施例的单层置物架20包括四个间隔设置的支脚21和横梁，横梁设置在支脚21之间，托架10设置在横梁上。具体地，如图2至图5所示，横梁包括两个相对设置的第一横梁和两个相对设置的第二横梁，两个第一横梁和两个第二横梁呈矩形布置，支脚21设置在相邻的第一横梁和第二横梁的连接处。在本实施例中，第一横梁包括连接杆24和17个固定槽25，第二横梁包括连接杆26，连接杆24和连接杆26连接在四个支脚21之间，17个固定槽25设置在连接杆24上，两个第一横梁上的固定槽25相互对应地设置，使托架10的两端能够分别设置在相对的两个固定槽25中。固定槽25限制了托架10的数量和相对位置，便于托架10的放置和取下，同时能有效地固定托架10，防止托架10移动导致放置托架10上的工件从托架10之间的空隙掉落。如图3所示，本实施例的支脚21的一端设置有公端插头22，另一端设置有母端插头23，相邻两个单层置物架20中的一个单层置物架20的支脚21的公端插头22能够伸入另一个单层置物架20的支脚21的母端插头23，使两个单层置物架20连接固定，避免相邻两个单层置物架20在横向上发生相对位移。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温烤箱置物架组件，其特征在于，包括料架骨架和多个托架，多个所述托架设置在所述料架骨架上，所述托架的材质为陶瓷。/n

【技术特征摘要】
1.一种高温烤箱置物架组件，其特征在于，包括料架骨架和多个托架，多个所述托架设置在所述料架骨架上，所述托架的材质为陶瓷。


2.根据权利要求1所述的高温烤箱置物架组件，其特征在于，所述托架的材质为白陶瓷。


3.根据权利要求1所述的高温烤箱置物架组件，其特征在于，所述料架骨架包括至少一个单层置物架，当所述单层置物架为多个时，多个所述单层置物架可叠置，多个所述托架分布在所述单层置物架上。


4.根据权利要求3所述的高温烤箱置物架组件，其特征在于，所述单层置物架包括多个间隔设置的支脚和多个横梁，多个所述横梁设置在多个所述支脚之间，所述托架设置在所述横梁上。


5.根据权利要求4所述的高温烤箱置物架组件，其特征在于，所述横梁包括两个相对设置的第一横梁和两个相对设置的第二横梁，两个所述第一横梁和两个所述第二横梁呈矩形布置，所述支脚设置在相邻的所述第一横梁和所述第二横梁的连接处。
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【专利技术属性】
技术研发人员：熊志红，郑思温，
申请(专利权)人：深圳仕上电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44