【技术实现步骤摘要】
一种具有断电保护装置的光刻设备
本技术涉及光刻设备保护
，特别是涉及一种具有断电保护装置的光刻设备。
技术介绍
在光刻设备中，通过光刻机构运动实现光刻，而光刻机构在高速中，光刻机构运行轴失控或者限位失效会对整个设备造成巨大的影响，好的结果缓冲器可以阻挡住光刻机构在高速下的撞击力，坏的结果高速运动的光刻机构撞坏缓冲器飞出整个设备或者将其他机构撞坏，因此需要一个装置在光刻机构失控或者限位失效的情况下对运动控制系统及时作出断电处理，使得电机失去动力，及时阻止光刻机构在失控或者限位失效情况下出现的电机继续高速运行的情况，同时要保证控制系统在失电后需要人为给系统上电操作。前面的叙述在于提供一般的背景信息，并不一定构成现有技术。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有断电保护装置的光刻设备，能够在运动失控时及时实现运动停止。本技术提供一种具有断电保护装置的光刻设备，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻...
【技术保护点】
1.一种具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻机构超出预设运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置。/n
【技术特征摘要】
1.一种具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，包括基座、设置在所述基座上的平台、设置在所述平台上方的光刻机构、用于实现所述光刻机构相对于所述平台运动的驱动机构，以及用于在所述光刻机构超出预设运动行程时实现所述驱动机构断电的断电保护装置。
2.如权利要求1所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述断电保护装置包括碰撞开关、交流接触器和通路开关，所述碰撞开关的一端连接所述交流接触器，另一端接地，所述通路开关一端连接电源，另一端连接所述交流接触器。
3.如权利要求2所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，所述通路开关设有点动按钮或者时间继电器，所述碰撞开关为弹簧杆式行程开关。
4.如权利要求1所述的具有断电保护装置的光刻设备，其特征在于，还设有用于连接所述驱动机构和所述光刻机构的导向机构，所述导向机构设置在所述基座上，所述导向机构包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕帅，徐顺达，王冠楠，朱鹏飞，
申请(专利权)人：苏州苏大维格科技集团股份有限公司，苏州大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。