本发明专利技术公开了一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，包括设备机架，所述设备机架的下端活动安装有可调支脚，所述设备机架的上端活动安装有防护门，所述设备机架的外侧固定安装有移动连接架，所述移动连接架内活动安装有转动轴，所述转动轴上活动安装有安装支架，所述移动连接架上固定安装有磁性吸板，所述安装支架上开设有移动滑槽，所述移动滑槽内活动安装有固定滑块，所述固定滑块的下端活动安装有连接导线，所述连接导线的下端活动安装有控制面板。该基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，提高了设备的使用方便程度，能够更好的满足使用者的使用需要，提高了工作的速度和效率，也能够降低工作的难度，减少在进行工作时候的成本投入。
【技术实现步骤摘要】
一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置
本专利技术涉及平面电机
，具体为一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置。
技术介绍
平面电机是一种可以直接将电磁能转换为平面运动的电机，与其他类型电机一样，平面电机由定子、转子和支撑部件等部分组成，在支撑部件的限制和电磁力的作用下，平面电机的动子能够带动负载产生两维的平面运动，平面电机直接利用电磁能产生平面运动，具有出力密度高、低热耗、高精度的特点，因省去了从旋转运动到直线运动再到平面运动的中间转换装置，可把控制对象同电机做成一体化结构，具有反应快、灵敏度高、随动性好及结构简单等优点，根据电磁推力的产生原理，可将平面电机划分为变磁阻型、永磁同步型和感应型三类。然而，现有市场上在进行设备使用的时候，需要通过对应的控制装置进行操作，尤其是在自动化不断推进的现在社会，能够更方便的操作，更简单的控制，才能够更好的适应工作的需要，但是现有的控制装置，一般都是一体的结构设计，在进行使用的时候，增加了工作的难度，并且不方便工作人员进行使用，同时内部的采用气缸进行驱动的工作，也无法保证在进行工作的时候，内部驱动单元的稳定性，降低了加工生产的速度，工作的效率下降，可能会导致在加工的时候，出现精度不准的情况，导致加工的产品品质出现问题，降低了生产的合格率，同时固定的控制装置，不方便工作人员实时根据加工的生产需要，进行对应的调节工作，降低了设备的适应性，提高了对工作人员个人素质的要求，也会提高工作的成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出现有市场上在进行设备使用的时候，需要通过对应的控制装置进行操作，尤其是在自动化不断推进的现在社会，能够更方便的操作，更简单的控制，才能够更好的适应工作的需要，但是现有的控制装置，一般都是一体的结构设计，在进行使用的时候，增加了工作的难度，并且不方便工作人员进行使用，同时内部的采用气缸进行驱动的工作，也无法保证在进行工作的时候，内部驱动单元的稳定性，降低了加工生产的速度，工作的效率下降，可能会导致在加工的时候，出现精度不准的情况，导致加工的产品品质出现问题，降低了生产的合格率，同时固定的控制装置，不方便工作人员实时根据加工的生产需要，进行对应的调节工作，降低了设备的适应性，提高了对工作人员个人素质的要求，也会提高工作成本的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，包括设备机架，所述设备机架的下端活动安装有可调支脚，所述设备机架的上端活动安装有防护门，所述设备机架的外侧固定安装有移动连接架，所述移动连接架内活动安装有转动轴，所述转动轴上活动安装有安装支架，所述移动连接架上固定安装有磁性吸板，所述安装支架上开设有移动滑槽，所述移动滑槽内活动安装有固定滑块，所述固定滑块的下端活动安装有连接导线，所述连接导线的下端活动安装有控制面板，所述设备机架的外侧固定安装有连通孔，所述连通孔内固定安装有输送带支架，所述输送带支架内活动安装有输送带，所述输送带支架的上端固定安装有固定安装板，所述固定安装板的下端活动安装有压料板，所述压料板和固定安装板之间活动安装有回复弹簧，所述输送带支架的一端固定安装有出料收集槽，所述设备机架的一端活动安装有收料支架，所述收料支架的上端固定安装有集料盒，所述收料支架的上端活动安装有移动滑轨，所述移动滑轨内活动安装有移动滑块，所述移动滑块的上端固定安装有固定支架，所述固定支架的上端活动安装有取料气缸，所述取料气缸的下端活动安装有升降连杆，所述升降连杆的下端活动安装有取料板，所述取料板的下端固定安装有吸气板，所述吸气板的外侧固定安装有防护橡胶圈，所述设备机架的上端固定安装有平面电机，所述平面电机的外侧开设有定位槽，所述定位槽内活动安装有升降连板，所述升降连板的上端活动安装有光刻电控箱，所述光刻电控箱的下端活动安装有光刻头，所述平面电机内固定安装有光刻工作台，所述平面电机内活动安装有驱动接头，所述驱动接头上活动安装有驱动螺杆，所述升降连板上活动安装有连接螺纹套，所述升降连板上固定安装有同步连接杆。优选的，所述设备机架为矩形结构设计，且设备机架上对称设置有至少两组防护门，并且设备机架和收料支架上对称设置有四个可调支脚。优选的，所述设备机架上对称设置有两个平面电机，且平面电机上对称设置有两个定位槽，并且平面电机对称设置有两组驱动接头和驱动螺杆。优选的，所述移动连接架为矩形结构设计，且移动连接架的截面为“L”形结构设计，并且移动连接架的尺寸和安装支架的尺寸相互适配。优选的，所述输送带支架为“凹”字形结构设计，且输送带支架内的固定安装板为矩形结构设计，并且固定安装板上对称设置有三个回复弹簧。优选的，所述出料收集槽为向下倾斜的结构设计，且出料收集槽的尺寸和输送带支架的尺寸相互适配，并且出料收集槽的尺寸和取料板的尺寸相互适配。优选的，所述移动滑轨在收料支架上对称设置有两个，且移动滑轨的尺寸和移动滑块的尺寸相互适配，并且移动滑块上的固定支架为倒置的“凹”字形结构设计。优选的，所述取料板上对称设置有两个吸气板，且吸气板的尺寸和防护橡胶圈的尺寸相互适配，并且防护橡胶圈的高度大于吸气板的高度。优选的，所述驱动螺杆的尺寸和连接螺纹套的尺寸相互适配，且连接螺纹套在升降连板上对称设置有两个，并且升降连板上对称设置有两组同步连接杆。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1.该基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，增加了内部通过平面电机进行控制的移动装置，通过外部的滑轨进行相互之间的连接工作，更好的进行移动，同时也能够在进行移动的时候，提供更高的稳定性，更好的满足使用的需要，减少工作时候产生的晃动，更好的保证加工的质量；2.该基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，增加了通过内置的转动结构进行连接的控制装置，通过转轴的连接能够更好的进行位置上移动工作，还设置了内部的球型连极端，能够进行一定范围上的调节工作，更好的满足不同使用者的使用需要，提高装置的适应性，更好的进行工作；3.该基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，整个装置的结构相对简单，能够更好的进行使用，提高了设备的使用方便程度，能够更好的满足使用者的使用需要，提高了工作的速度和效率，也能够降低工作的难度，减少在进行工作时候的成本投入。附图说明图1为本专利技术整体结构示意图；图2为本专利技术光刻工作台结构示意图；图3为本专利技术取料板结构示意图；图4为本专利技术平面电机内部结构示意图；图5为本专利技术移动连接支架结构示意图；图6为本专利技术输送带支架放大结构示意图。图中：1、设备机架；2、可调支脚；3、防护门；4、移动连接架；5、控制面板；6、连通孔；7、输送带支架；8、出料收集槽；9、收料支架；10、集料盒；11、移动滑轨；12、移动滑块；13、固定支架；14、取料气缸；15、升降连杆；16、取料板；17、平面电机；18、定位槽；19、升降连板；20、光刻电控箱；21、光刻头；本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，包括设备机架（1），其特征在于：所述设备机架（1）的下端活动安装有可调支脚（2），所述设备机架（1）的上端活动安装有防护门（3），所述设备机架（1）的外侧固定安装有移动连接架（4），所述移动连接架（4）内活动安装有转动轴（29），所述转动轴（29）上活动安装有安装支架（30），所述移动连接架（4）上固定安装有磁性吸板（31），所述安装支架（30）上开设有移动滑槽（32），所述移动滑槽（32）内活动安装有固定滑块（33），所述固定滑块（33）的下端活动安装有连接导线（34），所述连接导线（34）的下端活动安装有控制面板（5），所述设备机架（1）的外侧固定安装有连通孔（6），所述连通孔（6）内固定安装有输送带支架（7），所述输送带支架（7）内活动安装有输送带（35），所述输送带支架（7）的上端固定安装有固定安装板（36），所述固定安装板（36）的下端活动安装有压料板（37），所述压料板（37）和固定安装板（36）之间活动安装有回复弹簧（38），所述输送带支架（7）的一端固定安装有出料收集槽（8），所述设备机架（1）的一端活动安装有收料支架（9），所述收料支架（9）的上端固定安装有集料盒（10），所述收料支架（9）的上端活动安装有移动滑轨（11），所述移动滑轨（11）内活动安装有移动滑块（12），所述移动滑块（12）的上端固定安装有固定支架（13），所述固定支架（13）的上端活动安装有取料气缸（14），所述取料气缸（14）的下端活动安装有升降连杆（15），所述升降连杆（15）的下端活动安装有取料板（16），所述取料板（16）的下端固定安装有吸气板（23），所述吸气板（23）的外侧固定安装有防护橡胶圈（24），所述设备机架（1）的上端固定安装有平面电机（17），所述平面电机（17）的外侧开设有定位槽（18），所述定位槽（18）内活动安装有升降连板（19），所述升降连板（19）的上端活动安装有光刻电控箱（20），所述光刻电控箱（20）的下端活动安装有光刻头（21），所述平面电机（17）内固定安装有光刻工作台（22），所述平面电机（17）内活动安装有驱动接头（25），所述驱动接头（25）上活动安装有驱动螺杆（26），所述升降连板（19）上活动安装有连接螺纹套（27），所述升降连板（19）上固定安装有同步连接杆（28）。/n...
【技术特征摘要】
1.一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，包括设备机架（1），其特征在于：所述设备机架（1）的下端活动安装有可调支脚（2），所述设备机架（1）的上端活动安装有防护门（3），所述设备机架（1）的外侧固定安装有移动连接架（4），所述移动连接架（4）内活动安装有转动轴（29），所述转动轴（29）上活动安装有安装支架（30），所述移动连接架（4）上固定安装有磁性吸板（31），所述安装支架（30）上开设有移动滑槽（32），所述移动滑槽（32）内活动安装有固定滑块（33），所述固定滑块（33）的下端活动安装有连接导线（34），所述连接导线（34）的下端活动安装有控制面板（5），所述设备机架（1）的外侧固定安装有连通孔（6），所述连通孔（6）内固定安装有输送带支架（7），所述输送带支架（7）内活动安装有输送带（35），所述输送带支架（7）的上端固定安装有固定安装板（36），所述固定安装板（36）的下端活动安装有压料板（37），所述压料板（37）和固定安装板（36）之间活动安装有回复弹簧（38），所述输送带支架（7）的一端固定安装有出料收集槽（8），所述设备机架（1）的一端活动安装有收料支架（9），所述收料支架（9）的上端固定安装有集料盒（10），所述收料支架（9）的上端活动安装有移动滑轨（11），所述移动滑轨（11）内活动安装有移动滑块（12），所述移动滑块（12）的上端固定安装有固定支架（13），所述固定支架（13）的上端活动安装有取料气缸（14），所述取料气缸（14）的下端活动安装有升降连杆（15），所述升降连杆（15）的下端活动安装有取料板（16），所述取料板（16）的下端固定安装有吸气板（23），所述吸气板（23）的外侧固定安装有防护橡胶圈（24），所述设备机架（1）的上端固定安装有平面电机（17），所述平面电机（17）的外侧开设有定位槽（18），所述定位槽（18）内活动安装有升降连板（19），所述升降连板（19）的上端活动安装有光刻电控箱（20），所述光刻电控箱（20）的下端活动安装有光刻头（21），所述平面电机（17）内固定安装有光刻工作台（22），所述平面电机（17）内活动安装有驱动接头（25），所述驱动接头（25）上活动安装有驱动螺杆（26），所述升降连板（19）上活动安装有连接螺纹套（27），所述升降连板（19）上固定安装有同步连接杆（28）。
2.根据权利要求1所述的一种基于光刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓东，谢桂洪，潘剑飞，
申请(专利权)人：深圳市宇道机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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