一种旋转交替限位的晶片吸盘制造技术

本发明专利技术公开了一种旋转交替限位的晶片吸盘，包括圆形板状的底座；底座的圆柱面上旋转设置有圆环柱体状的旋转支撑环；旋转支撑环的外圆柱面上固定有一对圆周均匀分布的径向设置的限位推行气缸；限位推行气缸的行程可调设置；限位推行气缸的活塞杆内侧端固定有推行限位板；推行限位板位于底座的上侧；底座的上端面中心成型有圆环槽状的中心吸附槽；底座的上端面设置有四个圆周均匀分布的移动座；移动座径向移动设置；移动座的上端面上成型有竖直设置的侧支撑板；侧支撑板与移动座的移动方向垂直设置；移动座上设置有限位装置并且限位装置使得移动座限制在移动路径上的任一位置。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转交替限位的晶片吸盘
本专利技术涉及光刻机的
，具体涉及一种旋转交替限位的晶片吸盘。
技术介绍
光刻是指通过一系列操作步骤，将掩膜上的微结构图案转移至涂覆有光刻胶晶片上面的一种微机电加工工艺。光刻工艺，可以用于集成电路、微流控芯片或者其他微型器件的制造。光刻工艺是在光刻机设备上完成的。在光刻设备中，有两个关键模块，即承版台和承片台。承版台是指用于放置光刻掩膜版的载体，它位于掩膜台分系统；承片台是指用于放置晶片的载体，它位于工作台分系统。在承版台模块中，用于放置并固定光刻掩膜版的装置称为掩膜吸盘；在承片台模块中，用于放置并固定晶片的装置称为晶片吸盘，而晶片吸盘又是放置在承片台模块的承片台支架中。通常，吸盘是以真空产生负压吸紧掩膜和/或晶片的方式将掩膜和/或晶片固定。然而，目前的光刻机大都是用于加工圆形晶片，这使得用户在需要加工矩形晶片时会遇到困难。由于光刻机上的晶片吸盘是圆形的，所以当用户放置矩形晶片时，可能会使矩形晶片的几何中心偏离圆形晶片吸盘的几何中心而不对称放置，导致矩形晶片在上升调节的过程中会作相对于晶片吸盘的运动；可能会使矩形晶片相对于掩膜图案是倾斜的，导致掩膜上转移到矩形晶片的图案相对于矩形晶片的外围边框是倾斜的而影响使用；同时会使每一次晶片放置在圆形晶片吸盘的位置不一样，导致每一批加工的晶片的图案位置不统一。尽管通过操纵光刻机的位置调节轴，可以使得正方体晶片放置的情况接近用户的需求；但是这些位置调整功能的调整范围是比较小的，而且操作起来比较繁琐，也难以保证每一次调整的位置一样；所以解决矩形晶片不适合放置在圆形晶片吸盘上的根本方法是，设计一个结构简单、合理的晶片吸盘，使得它既能够适用于圆形晶片，也能够满足用户加工矩形晶片的需求。
技术实现思路
本专利技术的目的是现在的吸盘的不适合矩形晶片的技术问题，提供了一种旋转交替限位的晶片吸盘。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种旋转交替限位的晶片吸盘，包括圆形板状的底座；底座的圆柱面上旋转设置有圆环柱体状的旋转支撑环；旋转支撑环的外圆柱面上固定有一对圆周均匀分布的径向设置的限位推行气缸；限位推行气缸的行程可调设置；限位推行气缸的活塞杆内侧端固定有推行限位板；推行限位板位于底座的上侧；底座的上端面中心成型有圆环槽状的中心吸附槽；底座的上端面设置有四个圆周均匀分布的径向移动槽；径向移动槽内径向移动设置有移动座；移动座的上端面与底座的上端面平齐；移动座的上端面上成型有竖直设置的侧支撑板；侧支撑板与移动座的移动方向垂直设置；移动座上设置有限位装置并且限位装置使得移动座可限制在移动路径上的任一位置。作为上述技术方案的优选，底座的内部成型有中心分配槽；中心分配槽的底面中心成型有向下贯穿的吸附导气管；吸附导气管与外部的抽吸气装置连接；中心吸附槽的底面上成型四个圆周均匀分布的竖直导气管；竖直导气管的下端与中心分配槽连通；底座的旋转中心轴与竖直导气管的旋转中心轴之间的连线与相邻的径向移动槽的方向成四十五度夹角。作为上述技术方案的优选，径向移动槽的底面上成型有向下贯穿的下避让槽；径向移动槽相对的侧壁上成型有左右导向槽；限位装置包括一对与左右导向槽配合的限位插块；移动座上成型有贯穿设置的供一对限位插块移动设置的限位移动孔；一对限位移动孔相互远离的一端移动设置在相应侧的左右导向槽内；限位插块与限位移动孔的侧壁密封设置；限位移动孔的底部中心成型有驱动气孔；底座底面上成型有四个圆周均匀分布的L型状的驱动导气管；驱动导气管的上端与驱动气孔的下端通过软气管连接；软气管位于下避让槽内；驱动导气管与外部的抽吸气装置连接。作为上述技术方案的优选，一对限位插块相互远离的端面上设置有阻尼层。作为上述技术方案的优选，前后两侧的一对侧支撑板的宽度相同；左右两侧的一对侧支撑板的宽度相同；前后两侧的一对侧支撑板的宽度大于左右两侧的一对侧支撑板的宽度。作为上述技术方案的优选，旋转支撑环的底面上成型有圆环状的驱动底环；驱动底环的上端面成型有圆环状的旋转连接环；旋转连接环的横截面呈T字形；底座的底面成型有与旋转连接环配合的旋转连接槽；旋转连接环的内圆柱面上成型有旋转驱动齿圈；底座的底面上固定有旋转驱动电机；旋转驱动电机的输出轴上固定有旋转驱动齿轮；旋转驱动齿轮与旋转驱动齿圈啮合。作为上述技术方案的优选，底座的上端面中心成型有十字形状的吸附槽；吸附槽位于中心吸附槽内并且吸附槽与中心吸附槽连通。作为上述技术方案的优选，旋转支撑环的内圆柱面上成型有一对圆周均匀分布的供推行限位板收纳的收纳槽。本专利技术的有益效果在于：可用于吸附圆形和矩形的晶片，晶片位置准确。附图说明图1为本专利技术的俯视的结构示意图；图2为本专利技术的图1中A-A的剖面的结构示意图；图3为本专利技术的图2中B-B的剖面的结构示意图。图中，10、底座；100、中心吸附槽；101、吸附槽；102、竖直导气管；103、中心分配槽；104、吸附导气管；105、驱动导气管；106、径向移动槽；107、左右导向槽；108、旋转连接槽；109、下避让槽；11、移动座；110、限位移动孔；111、驱动气孔；112、侧支撑板；113、阻尼层；114、限位插块；12、软气管；13、旋转驱动电机；14、旋转驱动齿轮；20、旋转支撑环；200、收纳槽；21、驱动底环；211、旋转连接环；22、旋转驱动齿圈；23、限位推行气缸；231、推行限位板。具体实施方式如图1～图3所示，一种旋转交替限位的晶片吸盘，包括圆形板状的底座10；底座10的圆柱面上旋转设置有圆环柱体状的旋转支撑环20；旋转支撑环20的外圆柱面上固定有一对圆周均匀分布的径向设置的限位推行气缸23；限位推行气缸23的行程可调设置；限位推行气缸23的活塞杆内侧端固定有推行限位板231；推行限位板231位于底座10的上侧；底座10的上端面中心成型有圆环槽状的中心吸附槽100；底座10的上端面设置有四个圆周均匀分布的径向移动槽106；径向移动槽106内径向移动设置有移动座11；移动座11的上端面与底座10的上端面平齐；移动座11的上端面上成型有竖直设置的侧支撑板112；侧支撑板112与移动座11的移动方向垂直设置；移动座11上设置有限位装置并且限位装置使得移动座11可限制在移动路径上的任一位置。如图1～图3所示，底座10的内部成型有中心分配槽103；中心分配槽103的底面中心成型有向下贯穿的吸附导气管104；吸附导气管104与外部的抽吸气装置连接；中心吸附槽100的底面上成型四个圆周均匀分布的竖直导气管102；竖直导气管102的下端与中心分配槽103连通；底座的旋转中心轴与竖直导气管102的旋转中心轴之间的连线与相邻的径向移动槽106的方向成四十五度夹角。如图1～图3所示，径向移动槽106的底面上成型有向下贯穿的下避让槽109；径向移动槽106相对的侧壁上成型有左右导向槽107；限位装置包括一对与左右导向槽107配合的限位插块114；移动座11上成型有贯穿设置的供一对限位插块1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转交替限位的晶片吸盘，其特征在于：包括圆形板状的底座(10)；底座(10)的圆柱面上旋转设置有圆环柱体状的旋转支撑环(20)；旋转支撑环(20)的外圆柱面上固定有一对圆周均匀分布的径向设置的限位推行气缸(23)；限位推行气缸(23)的行程可调设置；限位推行气缸(23)的活塞杆内侧端固定有推行限位板(231)；推行限位板(231)位于底座(10)的上侧；底座(10)的上端面中心成型有圆环槽状的中心吸附槽(100)；底座(10)的上端面设置有四个圆周均匀分布的径向移动槽(106)；径向移动槽(106)内径向移动设置有移动座(11)；移动座(11)的上端面与底座(10)的上端面平齐；移动座(11)的上端面上成型有竖直设置的侧支撑板(112)；侧支撑板(112)与移动座(11)的移动方向垂直设置；移动座(11)上设置有限位装置并且限位装置使得移动座(11)可限制在移动路径上的任一位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种旋转交替限位的晶片吸盘，其特征在于：包括圆形板状的底座(10)；底座(10)的圆柱面上旋转设置有圆环柱体状的旋转支撑环(20)；旋转支撑环(20)的外圆柱面上固定有一对圆周均匀分布的径向设置的限位推行气缸(23)；限位推行气缸(23)的行程可调设置；限位推行气缸(23)的活塞杆内侧端固定有推行限位板(231)；推行限位板(231)位于底座(10)的上侧；底座(10)的上端面中心成型有圆环槽状的中心吸附槽(100)；底座(10)的上端面设置有四个圆周均匀分布的径向移动槽(106)；径向移动槽(106)内径向移动设置有移动座(11)；移动座(11)的上端面与底座(10)的上端面平齐；移动座(11)的上端面上成型有竖直设置的侧支撑板(112)；侧支撑板(112)与移动座(11)的移动方向垂直设置；移动座(11)上设置有限位装置并且限位装置使得移动座(11)可限制在移动路径上的任一位置。


2.根据权利要求1所述的一种旋转交替限位的晶片吸盘，其特征在于：底座(10)的内部成型有中心分配槽(103)；中心分配槽(103)的底面中心成型有向下贯穿的吸附导气管(104)；吸附导气管(104)与外部的抽吸气装置连接；中心吸附槽(100)的底面上成型四个圆周均匀分布的竖直导气管(102)；竖直导气管(102)的下端与中心分配槽(103)连通；底座的旋转中心轴与竖直导气管(102)的旋转中心轴之间的连线与相邻的径向移动槽(106)的方向成四十五度夹角。


3.根据权利要求1所述的一种旋转交替限位的晶片吸盘，其特征在于：径向移动槽(106)的底面上成型有向下贯穿的下避让槽(109)；径向移动槽(106)相对的侧壁上成型有左右导向槽(107)；限位装置包括一对与左右导向槽(107)配合的限位插块(114)；移动座(11)上成型有贯穿设置的供一对限位插块(114)移动设置的限位移动孔(110)；一对限位移动孔(110)相互远离的一端移动设置在相应侧的左右导向槽(10...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦小燕，
申请(专利权)人：咸宁恒舟信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42