带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种带精密测量的可控升降装置及光刻设备，装置包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，固定基座与导向座固定连接，固定基座上有轴线竖向的导向套，移动组件包括升降头、导向杆、磁钢，导向杆上端有安装孔，导向杆穿过导向套，导向杆与导向套以及固定基座、导向座之间形成气浮接触面；磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使升降头伸出导向套的上端部，驱动组件包括电机线圈和铁芯，铁芯设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，移动组件中心有气孔，固定基座通过导向杆的气道向气孔提供正压或负压气体。本发明专利技术采用气浮接触面导向减少零部件之间的摩擦，避免颗粒产生，并提高运动精度，减少电机驱动力要求。

【技术实现步骤摘要】
带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备
本专利技术涉及光刻
，具体地说，涉及一种带精密测量的可控升降装置以及包含其的光刻设备。
技术介绍
光刻设备的硅片交接装置配合传输机械手，可实现硅片的交接功能。光刻设备中用来对硅片进行可控升降的装置通常称为E-pin。E-pin被安装在承片台上，光刻设备在工作时需要对硅片进行上片和下片操作。上片时，硅片被机械手传输至设定的位置，E-pin的pin杆伸出从机械手上取下硅片，然后pin杆缩回，将硅片放置在承片台上。下片时，pin杆伸出将硅片从承片台上抬起至设定高度，然后被机械手取走。因此，E-pin既需要可伸缩功能，用于举升和下降硅片；又需要有位置测量的功能，防止硅片升降不到位造成硅片及零部件的损坏。专利技术人发现，在将硅片取放到吸盘上，采用目前的滑动和滚动传动结构会引入颗粒污染，采用滑动导向，导向杆与导向套采用硬度较高且耐磨材料，虽然可降低颗粒的数量，但是还是会引入颗粒污染；采用滚动导向，是导向杆与导向套或者固定座、导向基座之间采用滚轮导向，这样会引入油脂，造成颗粒污染，破坏光刻环境。...

【技术保护点】
1.一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，/n其中，固定基座与导向座固定连接，在固定基座上安装有轴线竖向的导向套，/n其中，移动组件包括：/n升降头，/n导向杆，上端具有与导向套同轴的安装孔，导向杆同轴穿过导向套，并且，导向杆上部与导向套，导向杆下部与固定基座、导向座之间都形成气浮接触面；/n磁钢，磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使得升降头伸出导向套的上端部，/n其中，驱动组件包括：/n电机线圈和铁芯，铁芯同轴设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，/n其中，在移动组件中心同轴开设有穿透至升降头上端的气孔，在导向杆上设置有进...

【技术特征摘要】
1.一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，包括固定基座、导向座、移动组件、驱动组件，
其中，固定基座与导向座固定连接，在固定基座上安装有轴线竖向的导向套，
其中，移动组件包括：
升降头，
导向杆，上端具有与导向套同轴的安装孔，导向杆同轴穿过导向套，并且，导向杆上部与导向套，导向杆下部与固定基座、导向座之间都形成气浮接触面；
磁钢，磁钢、升降头依次装入导向杆的安装孔，使得升降头伸出导向套的上端部，
其中，驱动组件包括：
电机线圈和铁芯，铁芯同轴设置在导向杆与导向套之间的环形空间内，电机线圈缠绕在铁芯上，
其中，在移动组件中心同轴开设有穿透至升降头上端的气孔，在导向杆上设置有进气孔以及连通所述进气孔与所述气孔的气道，在固定基座上开设有气源孔和出气孔，所述气源孔与气源连通，所述出气孔通过软管与导向杆上的所述进气孔连通，通过气源孔向所述气孔提供正压或负压气体。


2.根据权利要求1所述的带精密测量的可控升降装置，其特征在于，移动组件还包括第一橡胶圈、支撑杆和固定套，所述固定套、支撑杆、第一橡胶圈、升降头依次连接装入到导向杆的安装孔中。


3.根据权利要求1所述的带精密测量的可控升降装置，其特征在于，在固定基座上开设有用于冷却所述电机线圈的冷却水槽，冷却水固定套围绕在固定基座的外围密封所述冷却水槽，在所述固定基座上设置有与冷却水槽连通的进水口和出水口。


4.根据权利要求1所述的一种带精密测量的可控升降装置，其特征在于，固定基座上设置有穿透固定基座至导向杆的光栅尺读数头安装孔，光栅尺读数头通过所述光栅尺读数头安装孔安装在固定基座上，在所述导向杆上设置有光栅尺。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：成荣，朱煜，张鸣，杨开明，刘相波，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11