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本发明公开了一种基于光刻机加工设备的平面电机控制装置，包括设备机架，所述设备机架的下端活动安装有可调支脚，所述设备机架的上端活动安装有防护门，所述设备机架的外侧固定安装有移动连接架，所述移动连接架内活动安装有转动轴，所述转动轴上活动安装有安...
该专利属于深圳市宇道机电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市宇道机电技术有限公司授权不得商用。

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