使用有机无机混合材料和纳米压印技术的微细结构体的制造方法以及微细结构体技术

技术编号:2671707 阅读:282 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的目的在于提供一种微细结构体的制造方法,其并非使用蚀刻处理而是使用纳米压印技术,经济性良好地制造含有可使所入射的光线有效通过的微细凹凸部的微细结构体。本发明专利技术使用纳米压印技术,并通过以下步骤制造微细结构体:在透明基板上对通过添加铝、锗或钛等的金属氧化物及/或烷醇盐而控制折射率的有机无机混合材料进行涂布的步骤;对涂布有上述有机无机混合材料的基板进行预烘热的步骤;在减压状态下对经过涂布的上述有机无机混合材料压接具有微细凹凸部的模具并加热的步骤及将上述有机无机混合材料从模具脱模的步骤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种使用可控制折射率等物理特性的有机无机混合材料及纳米压印技术制造微细结构体的方法以及微细结构体。
技术介绍
为实现照明器具或显示装置的高亮度化,必须有效地将发光元件所放射的光线引取到照明器具或显示装置的外部。然而,一般而言,发光元件所放射的光线,在透过其周围的透明基板等而到达外部为止时,会衰减为所放射的光线的20%左右。众所周知该衰减的主要原因在于在显示元件的基板或作为外罩的玻璃等与外界空气的界面中存在反射。而且,以下情况也得到证实,为防止该反射,在折射率相异的物质的界面,设置可视光的波长以下的微细凹凸构造是比较有效的。具有相关微细凹凸部的结构体,在先前一般使用蚀刻工序而制造。非专利文献1S.YChou,et al.,Appl.Phys.Lett.67,3144(1995)非专利文献2S.YChou,P.R.Krauss and P.JRenstrom,Science.85,272(1996)然而,该蚀刻工序是比较复杂的工序,因此只要使用该蚀刻工序进行制造,那么制造成本的降低将比较有限,所以存在制造成本较高的问题。另外,也存在如下问题,为减少含有上述微细凹凸部的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透明基板上具有微细凹凸部的结构体(以下称为[微细结构体])的制造方法,其特征为:其使用纳米压印技术,并且具有在透明基板上对可通过添加铝、锗或钛等的金属氧化物及/或烷醇盐而控制折射率的有机无机混合材料进行涂布的步骤;对涂布 有上述有机无机混合材料的基板进行预烘热的步骤;在减压状态下对经过涂布的上述有机无机混合材料压接具有微细凹凸部的模具并加热的步骤;及将上述有机无机混合材料从模具进行脱模的步骤。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:森本勉三浦伸仁筒井长德藤井和彦神前健嗣罗永春永井直美
申请(专利权)人:钟化股份有限公司
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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