一种半导体晶圆自动翻转设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体晶圆自动翻转设备，包括感应器、支撑架和底座和夹块，所述底座的顶端固定连接有支撑架，所述支撑架的一端固定连接有固定架，所述固定架的一端设置有旋转机构，所述固定架的内部设置有调节机构，所述调节机构的两侧均设置有夹块，所述夹块的一侧均固定连接有防护垫，所述防护垫的材料可为Peak。本实用新型专利技术通过设置有旋转机构，启动翻转电机，通过转轴可以带动转盘的旋转，使得与转盘固定连接的固定架进行180°的旋转，从而便于对半导体晶圆进行检测，不用人工进行翻转，使用起来更加方便，旋转的同时滑块在滑槽中滑动，使得旋转更加稳固。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆自动翻转设备
本技术涉及半导体制造制
，具体为一种半导体晶圆自动翻转设备。
技术介绍
半导体晶圆是一种用于电路上的基础零件，因为其呈圆形，所以叫做晶圆，半导体晶圆的制作过程中，需要通过一定的设备对半导体晶圆两面进行检测观察，保证其品质质量，合格的才可继续进行生产加工。在实现本技术的过程中，专利技术人发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：(1)传统的半导体晶圆设备，难以调节夹持的间距，不便于对一定范围内不同直径的半岛晶体进行夹持；(2)传统的半导体晶圆设备，不便于对半导体晶体进行自动翻转，检测起来不够简便；(3)传统的半导体晶圆设备，夹持的过程中，易对晶体造成划伤破损，影响正常的使用，造成浪费。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体晶圆自动翻转设备，以解决上述
技术介绍
中提出难以调节夹持的间距、难以自动翻转，工作效率低和夹持的过程中半导体晶圆易造成损伤的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体晶圆自动翻转设备，包括感应器、支撑架和底座和夹块，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体晶圆自动翻转设备，包括感应器(1)、支撑架(2)和底座(3)和夹块(4)，其特征在于：所述底座(3)的顶端固定连接有支撑架(2)，所述支撑架(2)的一端设置有旋转机构(6)，所述支撑架(2)的一端固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)的内部设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)的两侧均设置有夹块(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶圆自动翻转设备，包括感应器(1)、支撑架(2)和底座(3)和夹块(4)，其特征在于：所述底座(3)的顶端固定连接有支撑架(2)，所述支撑架(2)的一端设置有旋转机构(6)，所述支撑架(2)的一端固定连接有固定架(7)，所述固定架(7)的内部设置有调节机构(5)，所述调节机构(5)的两侧均设置有夹块(4)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述夹块(4)的一侧均固定连接有防护垫(8)。


3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述调节机构(5)的内部依次设置有固定板(501)、固定座(502)、气缸(503)和伸缩杆(504)，所述固定板(501)固定连接于固定架(7)一端的两侧，所述固定板(501)的一侧均设置有固定座(502)。


4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆自动翻转设备，其特征在于：所述固定座(502)的一侧均设置有气缸(503)，所述气缸(50...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐超，林坚，
申请(专利权)人：泓浒昆山半导体光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32