一种开放式晶圆盒适配器制造技术

本发明专利技术涉及半导体技术领域，具体公开了一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于设有三个定位柱和夹锁的装载台上。开放式晶圆盒适配器包括主体和多个限位块。主体上设有用于与装载台上设置的三个定位柱和夹锁可拆卸连接的定位件；多个限位块选择性地可拆卸安装于主体上以定位不同的开放式晶圆盒。本发明专利技术开放式晶圆盒适配器可安装不同尺寸的开放式晶圆盒于装载台上，提高了装载台的互换性，便捷操作过程的同时，也提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种开放式晶圆盒适配器
本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种开放式晶圆盒适配器。
技术介绍
晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中开放式晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。现在一般由人工轻拿轻放搬取，在放置过程需要非常小心，对操作人员的素质要求很高。如果人工拿取有损伤或掉落，会给公司带来极大的效益损失。现今常采用装载台对晶圆盒进行装载和搬运，如图1所示，装载台上设置有夹锁9、三个定位柱8和三个感应器6。通过定位柱8限定晶圆盒位置，通过感应器6检测晶圆盒是否水平放置，通过夹锁9将晶圆盒锁固于装载台上。现有技术中采用装载台直接安装晶圆盒的技术安装方案步骤繁琐，操作费时费力，而且效率低下；同样目前的装载台只能装配一种尺寸的晶圆盒，互换性极差。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种开放式晶圆盒适配器，以解决装载台互换性差的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱和夹锁，包括主体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱(8)和夹锁(9)，其特征在于，包括：/n主体(1)，所述主体(1)上设有定位件，所述定位件用于与三个所述定位柱(8)和所述夹锁(9)可拆卸连接；/n限位块(5)，设有多个，多个所述限位块(5)选择性地可拆卸安装于所述主体(1)上以定位不同的开放式晶圆盒。/n

【技术特征摘要】
1.一种开放式晶圆盒适配器，用于安装于装载台上，所述装载台上设有三个定位柱(8)和夹锁(9)，其特征在于，包括：
主体(1)，所述主体(1)上设有定位件，所述定位件用于与三个所述定位柱(8)和所述夹锁(9)可拆卸连接；
限位块(5)，设有多个，多个所述限位块(5)选择性地可拆卸安装于所述主体(1)上以定位不同的开放式晶圆盒。


2.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)包括内主体(11)和外主体(12)，所述内主体(11)为Y形板，所述外主体(12)开设有Y形的安装孔(121)，所述内主体(11)置于所述安装孔(121)内，且与所述外主体(12)连接。


3.根据权利要求2所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述定位件包括开设于所述内主体(11)上的卡位凹槽(4)和三个贯穿所述内主体(11)或所述外主体(12)的限位槽(2)，且三个所述限位槽(2)的延伸方向互不相同，所述定位柱(8)能穿设所述限位槽(2)；所述卡位凹槽(4)的一侧与所述安装孔(121)连通，所述夹锁(9)能穿过所述安装孔(121)抵接于所述卡位凹槽(4)的槽底。


4.根据权利要求3所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，三个所述限位槽(2)分别设置于所述内主体(11)的三个端部。


5.根据权利要求1所述的开放式晶圆盒适配器，其特征在于，所述主体(1)上设有两个压块组件(7)，且分别位于所述装载台的两个感应器(6)上方，所述晶圆盒放置于所述主体(1)上能使...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐超，林坚，卢伟，
申请(专利权)人：泓浒昆山半导体光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32