带有独立波前校正的高效率光束分配装置制造方法及图纸

技术编号:2669799 阅读:231 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种光束分配装置,它包括平行四边形棱镜的堆叠和分束涂层,每个分束涂层位于相邻平行四边形棱镜的相对平行表面之间。堆叠安装在三角棱镜的入口表面上。三角棱镜包括入口表面、反射表面和出口表面。反射表面具有用于对来自堆叠的输出光束进行整形并将输出光束经过出口表面反射的表面。本发明专利技术还公开了一种光束分配装置,它包括平行四边形棱镜的堆叠和分束涂层,每个分束涂层位于堆叠中相邻平行四边形棱镜的相对平行表面之间。分束涂层透射第一偏振态的光并反射部分第二偏振态的光。此装置还包括延迟片和对输出光束整形的校正反射光学器件,各延迟片安装在平行四边形棱镜与分束涂层相邻的表面上,各校正反射光学器件安装在延迟片上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及带有独立波前校正的高效率光束分配装置
技术介绍
在许多光学系统中,需要以最高质量的波前和最低的损耗将激光源分配到许多输出。通常,光束分配是用某些结构的分束器来实现的。一到二的光束分配可以用无涂层的玻璃片相对于输入光束旋转来实现。可以设置多个片以分配多个光束。可以增加涂层以提高效率。但是,这种方式代价高且复杂。多个光学器件需要多次对准并可能引起对准容差和元件波前容差的累加。容差的累加指的是对准中以及各个元件中缺陷的积累,它造成组件偏离理想性能的显著偏差。可以将平行的片结合在一起以使容差累加减至最小。可以将每个表面制造并测试到光学级别的表面质量,它给下一个平行的片提供了良好的参考表面。如果这些片的厚度至少与输入光束的尺寸相等,并且它们以较大角度倾斜(例如45度),则来自每个片的反射是空间分离的。反射光束的空间分离有利于光束分配。假设某种应用要求高度的机械稳定性,则光束分配可以被结合到光学系统的支架。当结合成堆叠以造成单块光学系统时,就难以对每个分配的光束的波前独立地进行校正。因此性能受到光束序列中每个光学元件表面轮廓的限制。因此,需要一种可以为每个分配的光束提供独立波本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光束分配装置,包括:堆叠,所述堆叠包括:沿轴线结合的多个平行四边形棱镜; 多个分束涂层,每个分束涂层位于所述堆叠中相邻平行四边形棱镜的相对平行表面之间;其中所述堆叠安装在三角棱镜的入口表面上并向所述三角棱 镜提供输出光束阵列;所述三角棱镜包括全部沿所述轴线延伸的入口表面、反射表面和出口表面,其中所述反射表面包括用于对所述输出光束进行整形的区域,所述输出光束来自所述堆叠,从所述反射表面反射,并经过所述出口表面离开。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:W克莱施卢赫特荣P贝维斯约翰J博克曼格雷格C费利克斯特里E里纳
申请(专利权)人:安捷伦科技有限公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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