【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学器件领域，具体涉及一种波长分束器/合束器。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，对光学分束器件的要求也越来越高。光学分束器是能把一束光分成两束或多束的光学元件，其可以分为波长分束器和能量分束器两类。能量分束器是指将入射的光束分成不同能量比例的两束或多束光，其中常见的偏振分束器可以看作是能量分束器的一种，偏振分束器是利用晶体双折射特性做成的，用以把入射光成分中的两种不同偏振态的光分开；而波长分束器则用于把不同波长的光分开。现有的波长分束器主要是针对窄带光的波长分束器并且其并非依据波段来分束，如应用到激光选频的光栅分束器和应用到光通信领域的棱镜或光栅分束器以及全光纤的波分复用器等。但在特定系统中其所需的分束器须为满足特定分开角、结构尺寸、机械及热稳定性、插入损耗以及串音等严格要求的宽带波长分束器，如用在一种光刻机调焦调平系统中的波长分束器。该系统的主要作用是测量硅片上表面和投影物镜下表面之间的垂向的相对位置关系，需要有两个探针(即两束以波段分束的光束)分别对硅片的上表面和投影物镜的下表面进行测量，然后计算出二者的相对位置信息。由于硅片表面涂有光刻胶...
【技术保护点】
一种波长分束器／合束器，其特征在于，所述波长分束器／合束器包括： 透明构件，包括具有至少一个输入面部分和两个输出面部分以及在一平面上配置的分束膜。根据所需的两个输出分量间的角度大小确定输入光束与分束膜所在平面之间的夹角及各个面部分的方向，使得第一输出面输出第一输出分量，第二输出面输出第二输出分量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：关俊，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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