【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种光控制构件,具体地,涉及一种制造用于成像系统、光扫描系统、复印机等的微透镜阵列的方法。
技术介绍
在微型封装中,微透镜阵列为成像应用提供光学适用性。传统上,微透镜定义为直径小于一毫米的透镜;但是有时直径大到五毫米的透镜也被认为是微透镜。一种用于制造微透镜的常用技术通过以选定的光致抗蚀剂涂布基板开始,通过掩模向被光致抗蚀剂涂布的基板辐射曝光,或替代地,对光致抗蚀剂进行灰阶激光曝光。加热基板时,被曝光的光致抗蚀剂熔化,且表面张力将材料拉成凸透镜的形式。光致抗蚀剂的深度决定透镜的焦距。制造微透镜的另一种方法采用离子交换。在该方法中,离子扩散到玻璃棒内,以引起径向折射率分布。折射率在透镜中心最高,并以自中心轴起的径向距离的二次方函数减少。采用离子交换方法制造的微透镜用于在例如远程通信中准直来自光纤的光。微透镜的使用正在从分立的微透镜转向微透镜阵列。用于生产玻璃微透镜阵列的一个制造工艺通常涉及熔融硅的反应离子刻蚀(RIE)。通常,很难满足采用RIE制造的微透镜阵列的所有条件。RIE技术在能生产最终产品之前涉及许多步骤,因而产量通常很小而产品昂贵。压力模 ...
【技术保护点】
一种制造微透镜阵列的方法,包括:提供光学透明部件束;切割所述光学透明部件束以形成至少一片光学透明部件段;以及加热所述至少一片光学透明部件段以形成透镜段。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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