【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体而言涉及光学和光学装置,且更具体而言涉及微透镜阵列、制造微透镜阵列的方法以及微透镜系统和应用。
技术介绍
微透镜阵列在用于成像应用的微型封装中提供了多种光学性能。通常,微透镜定义为直径小于一毫米的透镜;然而,有时直径为五毫米或以上的透镜也被认为是微透镜。有许多制造微透镜的常规方法。例如,一种通常使用的制造微透镜的技术从选择的光致抗蚀剂涂覆衬底开始,将该光致抗蚀剂涂覆的衬底通过掩模曝光,或者对该光致抗蚀剂进行灰阶激光曝光。在加热衬底时,曝光后的光致抗蚀剂熔化,表面张力拉动材料以形成凸透镜。光致抗蚀剂的深度决定透镜的焦距。制造微透镜的另一种方法是使用离子交换。在此方法中,离子扩散进玻璃杆以给出径向折射率分布。折射率在透镜中心最高并以距中心轴的径向距离的函数而逐渐降低。使用离子交换法制造的微透镜用于校准例如电信应用中来自光纤的光。通常对于许多应用而言,微透镜阵列比离散的微透镜更优选。例如,制造玻璃微透镜阵列的一种制造工艺通常涉及熔融硅石的反应离子刻蚀(RIE)。通常,使用RIE难以满足所有微透镜阵列的要求。RIE技术在制造最终产品之前涉及许多步骤,且因 ...
【技术保护点】
一种制造微透镜阵列的方法,包括:提供一束光透明元件;切割所述一束光透明元件以形成至少一片光透明元件段;加热所述至少一片光透明元件段以形成透镜段;和以遮光层覆盖所述至少一个透镜段的一部分。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。