一种红外探测器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种红外探测器及其制备方法，包括：从下至上依次设置的衬底、石墨烯层、量子点层以及叉指电极；量子点层包括由硫化铅形成的内核和由金形成的壳层，壳层包裹于内核表面，叉指电极镀接在壳层表面。金属金与半导体硫化铅的混合纳米结构(即量子点层)能够提高器件光电转换效率，并且能够显著增强器件的光探测性能。

【技术实现步骤摘要】
一种红外探测器及其制备方法
本专利技术涉及红外光电探测
，具体涉及一种红外探测器。
技术介绍
红外探测器在导弹预警、安全防范、光电检测、红外成像等众多领域具有广泛的应用。石墨烯的电子迁移率高达350000cm2/(V·s)，电导率为106S/m，方块电阻大约为31Ω/sq，常温下的热导率为5000W/mK。石墨烯表现出超快载流子动力学，能够实现光子或等离子体到电流或电压的快速转换。因此，石墨烯基光电器件具有巨大的发展潜力。石墨烯/GaAs红外探测器表现出良好的探测效率和高效选择性，因而受到了研究人员的青睐。目前，石墨烯基高光效红外探测是人们不懈追求的目标。但是，当前的石墨烯/GaAs红外探测器还存在探测效率和探测范围还较低的问题，以及制备工艺的兼容性较弱的问题。
技术实现思路
本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本申请提出一种红外探测器及其制备方法，可以提高红外探测器对红外光的吸收效率和范围，提供一种与现有工艺兼容的石墨烯制备工艺，简化生产工艺，降低生产成本。>本专利技术解决其问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：从下至上依次设置的衬底、石墨烯层、量子点层以及叉指电极；所述量子点层包括由硫化铅形成的内核和由金形成的壳层，所述壳层设置于所述内核的表面，所述叉指电极镀接在所述壳层表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种红外探测器，其特征在于，包括：从下至上依次设置的衬底、石墨烯层、量子点层以及叉指电极；所述量子点层包括由硫化铅形成的内核和由金形成的壳层，所述壳层设置于所述内核的表面，所述叉指电极镀接在所述壳层表面。


2.根据权利要求1所述的一种红外探测器，其特征在于：所述衬底由砷化镓或铟镓砷单晶组成。


3.根据权利要求1所述的一种红外探测器，其特征在于：所述量子点层的层数为1至5层。


4.根据权利要求3所述的一种红外探测器，其特征在于：所述内核的半径为5至50nm，所述壳层的厚度为0.1至2nm。


5.根据权利要求1所述的一种红外探测器，其特征在于：还包括设置于所述衬底表面的纳米线阵列。


6.一种制备红外探测器的方法，应用于红外探测器，红外探测器包括衬底、石墨烯层、量子点层以及叉指电极，所述量子点层包括内核和壳层，其特征在于，所述方法包括：
在所述衬底上沉积所述石墨烯层；
在所述石墨烯层的表面喷涂内核，在所述内核外表面喷涂所述壳层，从而得到所述量子点层；
在所述量子点层上蒸镀所述叉指电极。


7.根据权利要求6所述的一种制备红外探测器的方法，其特征在于，所述方法还包括：
在所述衬底的表面刻蚀、沉积所述纳米线阵列；
去除所述衬底的所述纳米线阵...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，邱晨，吴质朴，何畏，
申请(专利权)人：深圳市奥伦德元器件有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44