一种PERC电池片的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种PERC电池片的制备方法，包括以下步骤：(1)清洗、制绒；(2)扩散和激光推进；(3)刻蚀抛光和去磷硅玻璃；(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al

【技术实现步骤摘要】
一种PERC电池片的制备方法
本专利技术属于PERC电池
，更具体的说是涉及一种PERC电池片的制备方法。
技术介绍
PERC电池(PassivatedEmitterandRearCell)，是电池的一种结构。PERC电池转换效率高，生产成本低，已成为当前电池片制造行业的主流工艺。该技术的核心是在硅片的背面沉积一层氧化铝薄膜，并用氮化硅膜覆盖，实现硅片的背表面钝化，使长波响应得到提高，进而提升电池片转换效率。目前，现有技术主要采用原子层沉积(ALD)和等离子增强型化学气相沉积(PECVD)，可以对硅片表面实现较好的钝化，降低硅片表面的少子复合。现有技术一般在200℃左右的温度下沉积氧化铝薄膜，由于反应温度低，反应时间短，膜层的致密性和负电场效果不佳，现有的制备工艺无法使得氧化铝薄膜钝化效果发挥到最佳。因此，研发一种减少硅片晶格缺陷，提升少子寿命，使得硅片背表面的钝化效果更好，进而提升电池片转换效率的PERC电池片的制备方法是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种PE本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PERC电池片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)清洗去除原硅片的切割损失层及金属杂质，并制绒形成金字塔绒面层；/n(2)将制绒后的单晶硅片置入扩散设备中进行扩散制结，形成PN结层，并在单晶硅片PN结层表面进行激光推进；/n(3)将激光推进后的单晶硅片进行刻蚀清洗，去除边缘的磷硅玻璃，并将单晶硅片背面进行抛光，去除背面的PN结层；/n(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al

【技术特征摘要】
1.一种PERC电池片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)清洗去除原硅片的切割损失层及金属杂质，并制绒形成金字塔绒面层；
(2)将制绒后的单晶硅片置入扩散设备中进行扩散制结，形成PN结层，并在单晶硅片PN结层表面进行激光推进；
(3)将激光推进后的单晶硅片进行刻蚀清洗，去除边缘的磷硅玻璃，并将单晶硅片背面进行抛光，去除背面的PN结层；
(4)对抛光后的单晶硅片背面进行Al2O3原子沉积，形成背钝化；
(5)将背钝化后的单晶硅片进行正面镀膜；
(6)将正面镀膜后的单晶硅片进行背面镀膜；
(7)将背面镀膜后的单晶硅片进行激光开槽；
(8)在激光开槽后的单晶硅片正面印刷银浆，经过高温烧结，制得PERC电池片。


2.根据权利要求1所述一种PERC电池片的制备方法，其特征在于，步骤(6)中，所述背面镀膜具体步骤为：
1)将正面镀膜后的单晶硅片放置在管式炉中，通入氮气，对管式炉内进行稳压和保温；
2)通入氨气，同时打开管式炉的脉冲开关进行预沉积；
3)继续通入氨气，同时通入硅烷进行沉积。


3.根据权利要求2所述一种适用于PERC电池的背面镀膜方法，其特征在于，步骤1)中，所述氮气通入流量为2000-5000sccm，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鸿，张伟，王路路，聂文君，王菲，穆晓超，李叶，宁鲁豪，李文敏，
申请(专利权)人：晋能清洁能源科技股份公司，晋能光伏技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山西;14