【技术实现步骤摘要】
图像感测装置及其形成方法
所公开技术的实施方式总体上涉及一种图像感测装置。
技术介绍
图像感测装置是用于将光学图像转换成电信号的半导体装置。随着计算机行业和通信行业的最新发展，由诸如数码相机、便携式摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏机、监控相机、医疗微型相机、机器人等的各种电子应用推动了对高质量和高性能图像传感器的需求。
技术实现思路
本专利文件特别地提供了可以有效提供入射光的光隔离(lightguarding)效果并防止滤色器之间的光学串扰的图像感测装置的设计。本公开的技术的一些实施方式涉及一种图像感测装置，该图像感测装置包括用于使入射光的光隔离效果最大化并防止滤色器之间的串扰的栅格结构。本公开的技术的一些实施方式涉及一种图像感测装置，该图像感测装置包括其中空隙空间围绕位于相邻滤色器之间的边界区域处的每个金属层的栅格结构，从而使相邻像素之间的串扰最小化。在本公开的技术的一种实施方式中，图像感测装置可以包括：基板，该基板包括光电转换元件；以及栅格结构，该栅格结构设置在基板上。栅格结构可以...
【技术保护点】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：/n基板，该基板包括光电转换元件；以及/n栅格结构，该栅格结构设置在所述基板上，/n其中，所述栅格结构包括：/n内部栅格层；以及/n外部栅格层，该外部栅格层形成在所述内部栅格层外部，以提供形成在所述内部栅格层的侧表面和顶表面处的空气层。/n
【技术特征摘要】
20190611 KR 10-2019-00685031.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
基板，该基板包括光电转换元件；以及
栅格结构，该栅格结构设置在所述基板上，
其中，所述栅格结构包括：
内部栅格层；以及
外部栅格层，该外部栅格层形成在所述内部栅格层外部，以提供形成在所述内部栅格层的侧表面和顶表面处的空气层。
2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述外部栅格层包括：
支承膜，该支承膜形成在所述空气层上；以及
覆盖膜，该覆盖膜形成在所述空气层和所述支承膜上。
3.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述支承膜包括硅氮氧化物膜和硅氮化物膜中的至少一个。
4.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述覆盖膜包括：
第一覆盖膜，该第一覆盖膜形成在所述空气层和所述支承膜的侧表面处以及所述支承膜的顶表面处；以及
第二覆盖膜，该第二覆盖膜形成在所述第一覆盖膜上。
5.根据权利要求4所述的图像感测装置，其中，所述第一覆盖膜包括超低温氧化物ULTO膜。
6.根据权利要求2所述的图像感测装置，其中，所述覆盖膜形成为延伸到所述栅格结构的两侧的缓冲层区域。
7.根据权利要求6所述的图像感测装置，其中，所述内部栅格层包括：
阻挡金属层；以及
金属层，该金属层形成在所述阻挡金属层上。
8.根据权利要求7所述的图像感测装置，其中，所述内部栅格层还包括：
绝缘膜，该绝缘膜形成在所述阻挡金属层和所述金属层的侧表面处以及所述金属层的顶表面处。
9.根据权利要求8所述的图像感测装置，其中，所述绝缘膜形成为延伸到所述缓冲层区域，并且在所述缓冲层区域内设置在所述基板和所述覆盖膜之间。
10.根据权利要求8所述的图像感测装置，其中，所述绝缘膜包括：
氮化物膜和氧化物膜的堆叠结构。
11.根据权利要求7所述的图像感测装置，其中，所述金属层的截面形成为正...
【专利技术属性】
技术研发人员：都英雄，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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