用于固态继电器的光伏驱动器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种用于固态继电器的光伏驱动器及其制备方法，用于固态继电器的光伏驱动器包括氮化镓基光电探测器阵列，包括有第一衬底；氮化镓基场效应管阵列，包括有第二衬底，所述氮化镓基场效应管阵列位于所述氮化镓基光电探测器阵列的右侧，所述第二衬底与所述第一衬底一体成型。根据本发明专利技术的用于固态继电器的光伏驱动器，氮化镓基光电探测器阵列和氮化镓基场效应管阵列为一体化设置，不但能够简化封装，有利于固态继电器的微型化，而且制作工艺简单，能够降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
用于固态继电器的光伏驱动器及其制备方法
本专利技术涉及电子
，尤其是涉及一种用于固态继电器的光伏驱动器及其制备方法。
技术介绍
固态继电器是一种无触点通断电子开关，它利用电子元件(如开关三极管、双向可控硅等半导体器件)的开关特性，当施加输入信号后，其主回路呈导通状态，无信号时呈阻断状态。整个器件无可动部件及触点，可实现相当于常用电磁继电器一样的功能。固态继电器的优点是开关速度快、工作频率高、使用寿命长和工作可靠等。固态继电器主要由发射端和输出端组成，其中发射端主要是由LED芯片及其驱动电路组成，用于输入光信号；而输出端则主要由光电探测器阵列、场效应管及驱动电路组成，其中光敏器件用于接收光信号，场效应管用于输出电信号。通常，光电探测器阵列、场效应管及驱动电路也合称为光伏驱动器。目前，微型化是固态继电器的重要发展方向之一，而在现有技术中，固态继电器中的光电探测器阵列和场效应管是分离设置的，占据了较大的空间，不利于固态继电器的微型化发展。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，包括：/n氮化镓基光电探测器阵列(100)，包括有第一衬底(101)；/n氮化镓基场效应管阵列(200)，包括有第二衬底(201)，所述氮化镓基场效应管阵列(200)位于所述氮化镓基光电探测器阵列(100)的右侧，所述第二衬底(201)与所述第一衬底(101)一体成型。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，包括：
氮化镓基光电探测器阵列(100)，包括有第一衬底(101)；
氮化镓基场效应管阵列(200)，包括有第二衬底(201)，所述氮化镓基场效应管阵列(200)位于所述氮化镓基光电探测器阵列(100)的右侧，所述第二衬底(201)与所述第一衬底(101)一体成型。


2.根据权利要求1所述的用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，所述氮化镓基光电探测器阵列(100)自下而上依次包括所述第一衬底(101)、第一铟镓氮薄膜(102)和若干个第一电极(103)，所述第一电极(103)沿所述第一衬底(101)的左右方向分布。


3.根据权利要求1所述的用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，所述氮化镓基场效应管阵列(200)自下而上依次包括所述第二衬底(201)、第二铟镓氮薄膜(202)和氮化镓铝薄膜(203)，所述氮化镓铝薄膜(203)设有延伸至第二铟镓氮薄膜(202)上部的第一凹槽(204)，所述第一凹槽(204)的内部和所述氮化镓铝薄膜(203)的上表面设有二氧化硅薄膜(205)，所述二氧化硅薄膜(205)的横截面长度小于所述氮化镓铝薄膜(203)的长度，所述二氧化硅薄膜(205)位于所述氮化镓铝薄膜(203)的中部，所述氮化镓铝薄膜(203)上表面的左右两端分别设有第二电极(206)和第三电极(207)，所述二氧化硅薄膜(205)的上表面设有第四电极(208)，所述第二电极(206)、所述第三电极(207)和所述第四电极(208)沿所述第二衬底(201)的前后方向分布。


4.根据权利要求1所述的用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，所述第一衬底(101)和所述第二衬底(201)的材料为单晶碳化硅。


5.根据权利要求1所述的用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，所述第一衬底(101)和所述第二衬底(201)的材料为单晶硅。


6.根据权利要求1所述的用于固态继电器的光伏驱动器，其特征在于，所述第一衬底(101)和所述第二衬底(201)的连接处的上部设第二凹槽(209)。


7.一种用于固态继电器的光伏驱动器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
第一次曝光：将整个氮化镓铝圆晶划分为多个制备所述用于固态继电器的光伏驱动器的区域，并将所述用于固态继电器的光伏驱动器区域再次划分为氮化镓基光电探测器阵列(100)和氮化镓基场效应管阵列(200)两个区域，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨为家，邱晨，吴质朴，何畏，
申请(专利权)人：深圳市奥伦德元器件有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44