基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器，硅漂移探测器包括硅基体，硅基体顶面中间设有收集阳极，收集阳极外侧设有数圈正面阴极环，收集阳极与正面阴极环之间、正面阴极环之间设有正面漂浮电极，硅基体底面从圆心向外设有数圈背面阴极环，背面阴极环之间设有背面漂浮电极，背面阴极环的位置、尺寸与收集阳极、正面阴极环相同，收集阳极、正面阴极环和背面阴极环上附着有铝金属，正面漂浮电极表面附着有正面分压电阻圈，背面漂浮电极表面附着有背面分压电阻圈，正面分压电阻圈、背面分压电阻圈和铝金属之间设有二氧化硅；本实用新型专利技术使用时无需外接分压器，使用方便，且内部电势分布均匀，对入射粒子检测准确度高。

【技术实现步骤摘要】
基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器
本技术属于深空探测
，特别是涉及一种基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器。
技术介绍
传统的同心圆硅漂移探测器在工作时，需要在电阻库中寻找与之相匹配的电阻来实现正反面的分压，从而形成电子漂移轨道，对入射粒子进行检测，该过程中由于偏置电压的连续性使匹配相应电阻的难度增大；若在传统同心圆硅漂移探测器上外接分压器，使同心圆硅漂移探测器设计往大面积方向发展，外接分压器使芯片的集成难度增加，同心圆硅漂移探测器使用不方便。美国BrookhavenNationalLaboratory,BNL实验室提出了螺旋形分压器的概念，将硅漂移探测器的阴极环制成螺旋环形从而实现硅漂移探测器的自动分压，但利用螺旋形阴极分压，硅漂移探测器的电势对称性有所缺失。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器，在阴极环之间沉积一定宽度和电阻率的分压电阻以实现分压，使同心圆硅漂移探测器方便使用，在收集阳极和阴极环之间及阴极环之间制备漂浮电极，使得同心圆硅漂移探测器内部的电势梯度均匀分布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器，其特征在于，包括圆柱体状的硅基体(4)，所述硅基体(4)的正面中间掺杂有收集阳极(1)，所述收集阳极(1)周围的硅基体(4)表面掺杂有数圈正面阴极环(3)，所述收集阳极(1)与正面阴极环(3)之间、相邻正面阴极环(3)之间掺杂有正面漂浮电极(5)，所述收集阳极(1)和正面阴极环(3)顶面设有铝金属(9)，所述正面漂浮电极(5)顶面设有数圈正面分压电阻圈(2)，所述铝金属(9)与正面分压电阻圈(2)之间、正面分压电阻圈(2)之间设有二氧化硅；/n所述硅基体(4)底面从圆心向外掺杂有数圈背面阴极环(6)，所述背面阴极环(6)的尺寸、位置与收集阳极(1)、正...

【技术特征摘要】
1.基于分压电阻和漂浮电极的硅漂移探测器，其特征在于，包括圆柱体状的硅基体(4)，所述硅基体(4)的正面中间掺杂有收集阳极(1)，所述收集阳极(1)周围的硅基体(4)表面掺杂有数圈正面阴极环(3)，所述收集阳极(1)与正面阴极环(3)之间、相邻正面阴极环(3)之间掺杂有正面漂浮电极(5)，所述收集阳极(1)和正面阴极环(3)顶面设有铝金属(9)，所述正面漂浮电极(5)顶面设有数圈正面分压电阻圈(2)，所述铝金属(9)与正面分压电阻圈(2)之间、正面分压电阻圈(2)之间设有二氧化硅；
所述硅基体(4)底面从圆心向外掺杂有数圈背面阴极环(6)，所述背面阴极环(6)的尺寸、位置与收集阳极(1)、正面阴极环(3)相同，所述背面阴极环(6)之间掺杂有背面漂浮电极(8)，所述背面漂浮电极(8)的位置、尺寸与正面漂浮电极(5)相同，所述背面阴极环(6)底面设有铝金属(9)，所述背面漂浮电极(8)底面设有数圈背面分压电阻圈(7)，所述背面分压电阻圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：李正，黄轩昂，刘曼文，
申请(专利权)人：湘潭大学，
类型：新型
国别省市：湖南;43