光波导型生物化学传感器芯片及其制造方法技术

本发明专利技术接受一种可扩大允许的入射角范围，且维持高的灵敏度同时抑制光波导层中的光强度衰减的光波导型生物化学传感器芯片。这种光波导型生物化学传感器芯片包括：由玻璃或石英构成的基板，形成在所述基板的主面上的、向所述基板内部入射光、并从内部出射光用的一对光栅，形成在包含所述光栅的基板的主面的、厚度３～３００μｍ、并由其折射率比基板高的高分子树脂构成的光波导层，以及具有形成在所述光波导层上的生物分子识别功能和信息变换功能的感测膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光波导型生物化学传感器芯片及光波导型生物化学传感器芯片的制造方法，特别涉及定量测定水溶液中和生物的生物分子的数量、性状用的光波导型生物化学传感器芯片及光波导型生物化学传感器芯片的制造方法。
技术介绍
以往，作为小型且高灵敏度生物化学传感器芯片，提出了包括光栅耦合器和具有生物分子识别功能及信息变换功能的感测膜，并利用光波导层表面产生的损耗波的平面光波导型生物化学传感器芯片的方案。例如，特许文献1中揭示了利用溶胶法在基板上形成由膜厚620nm的氧化硅膜构成的光波导层，并在该光波导层的两端形成光栅的构造的荧光免疫传感器。作为光波导层，也可用聚烯亚胺膜做成，但未详细公开。特许文献2中揭示了在基板两端附近形成光栅，并在含有该光栅的所述基板表面形成光波导层的构造的平面光波导型生物化学传感器芯片。说明了这种光波导层最好是用溅射法或CVD法形成的氮化硅、氧化铝、氧化钽等，或用离子交换法制作的玻璃膜。特许文献3中揭示了也由同样材料构成的光波导层。另外，特许文献4中揭示了在厚度小于等于1nm的基板主面上形成具有生物分子识别功能和信息变换功能的感测膜，使光在基板内传播，并在与所述感测膜的界本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光波导型生物化学传感器芯片，其特征在于，包括：具备以规定的条件使光入射到内部的耦合器或以规定的条件使光从内部出射的去耦器中的至少一方的、由具有透光性的材料成形的基板，相对于形成所述基板的所述耦合器或所述去耦器的主面邻接形成、并以厚度为３～３００μｍ且由其折射率比构成所述基板的材料更高的高分子树脂材料构成的光波导层，以及形成在所述光波导层上、并根据导入的检体生成对所述光或所述光的损耗波具有吸收性的反应产物的感测膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：东野一郎，大宫可容子，高濑智裕，植松育生，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]