下载光波导型生物化学传感器芯片及其制造方法的技术资料

文档序号:2669208

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本发明接受一种可扩大允许的入射角范围,且维持高的灵敏度同时抑制光波导层中的光强度衰减的光波导型生物化学传感器芯片。这种光波导型生物化学传感器芯片包括:由玻璃或石英构成的基板,形成在所述基板的主面上的、向所述基板内部入射光、并从内部出射光用的...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。

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