一种凸轮结构插板阀装置制造方法及图纸

本发明专利技术为一种凸轮结构插板阀装置，涉及插板阀领域，解决了在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的问题。技术特征包括:插板阀；第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上。彻底解決了连续真空磁控溅射镀膜装置中內漏问题(內漏用检漏仪检测困难)，将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。

【技术实现步骤摘要】
一种凸轮结构插板阀装置
本专利技术涉及插板阀
，特别涉及一种凸轮结构插板阀装置。
技术介绍
目前在真空磁控溅射镀膜工艺中，主要有单箱体真空磁控溅射镀膜机和连续真空磁控溅射镀膜生产线。而在连续真空磁控溅射镀膜生产线中：进口室、进口过渡室、进口主室调节段，出口室、出口过渡室、出口主室调节段大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行隔离。在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患，同時，也解決了内部泄漏致使檢漏仪不易檢測的問題。因此为了解决这一问题，设计一种凸轮结构插板阀装置是非常有必要的。
技术实现思路
本专利技术要解决现有技术中的在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管疲劳破裂，极易造成内部泄漏，瞬间破坏箱体真空度，使分子泵跳停，损坏分子泵，箱体内的产品全部报废，在实际应用存在很大隐患的技术问题，提供一种凸轮结构插板阀装置。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案具体如下：一种凸轮结构插板阀装置，包括:插板阀；第一真空箱体，所述第一真空箱体安裝于插板阀上；第二真空箱体，所述第二真空箱体安裝于插板阀上；所述第一真空箱体、第二真空箱体与插板阀两端面密封连接。优选的，所述插板阀包括：阀体、门阀安装板、门阀板组件、插入动作机构、凸轮张开机构、冷却结构、密封结构、固定结构、一对导杆座、一对导杆以及一对导杆轴承套；所述门阀安装板安裝于阀体侧上表面，且所述门阀安装板与阀体端面密封连接，所述门阀板组件安裝于安装板上，所述插入动作机构安裝与安装板上，且所述插入动作机构与门阀板组件相连接，所述凸轮张开机构安裝于门阀板组件上，且所述凸轮张开机构与门阀板组件相连接，所述冷却结构安裝于阀体上，所述密封结构安置于阀体兩端表面和一侧表面上，所述固定结构开设于阀体兩端表面和一侧表面上，一对所述导杆座安裝于门阀安装板上，所述导杆安裝于相对应的导杆座上，一对所述导杆轴承套安裝于门阀板组件上，且每个所述导杆与相对应的导杆轴承套相连接。优选的，所述门阀板组件包括：门阀压板、门阀侧板、复位弹簧组件、凸轮组件、凸轮轴固定块、门阀密封板以及门阀平整调节螺栓组；所述门阀侧板安裝于导杆轴承套上，所述复位弹簧组件安裝于门阀压板和门阀密封板上，所述凸轮轴固定块安裝于门阀侧板内侧表面上，每个所述凸轮组件安裝于相对应的所述凸轮轴固定块上，所述门阀密封板通过复位弹簧组件对门阀压板连接固定，所述门阀平整调节螺栓组安裝于凸轮轴固定块上。优选的，所述插入动作机构包括：三个固定架、三个UCF轴承座、插入动力马达座、插入动力马达、联轴组件、插入动力转动轴、插入到位感应器、插入复位感应器、一对磁流体、一对伞形齿轮组、一对扭力限制联轴器、一对感应器丝杆以及一对感应器丝杆螺母；三个所述固定架安裝于门阀安装板上，每个所述UCF轴承座安裝于相对应的固定架上，所述插入动力马达座安裝于门阀安装板上，所述插入动力马达安裝于插入动力马达座上，所述联轴组件安裝于插入动力马达上，所述插入到位感应器和插入复位感应器安裝于固定架上，的感应器安裝滑槽块上，所述插入动力转动轴安裝于UCF轴承座上，所述插入动力转动轴一端与联轴组件连接，且所述插入动力转动轴另一端与感应器丝杆相连接，一对所述磁流体安裝于门阀安装板上，一对所述伞形齿轮组一端安装于插入动力转动轴上，一对所述伞形齿轮组另一端安裝于磁流体上，一对所述扭力限制联轴器一端与磁流体相连接，一对所述扭力限制联轴器另一端与感应器丝杆相连接，一对所述感应器丝杆螺母安裝于门阀侧板上，且每个所述感应器丝杆与相对应的感应器丝杆螺母相连接。优选的，所述凸轮张开机构包括：若干凸轮张开组件；所述凸轮张开组件安裝于门阀安装板上，且所述凸轮张开组件与凸轮组件相连接。优选的，所述凸轮张开组件包括：支撑板、气缸安装座、气缸、UCP轴承座、齿轮、直齿条、导轮、磁流体、联轴器、花键轴、花键套、墨铜轴套、凸轮到位感应器以及凸轮复位感应器；所述气缸安装座安裝于支撑板上，所述气缸安裝于气缸安装座上，所述UCP轴承座安裝于支撑板上，所述磁流体安裝于门阀安装板上，所述联轴器与磁流体一端连接，所述花键套安裝于联轴器上，所述磁流体一端穿过UCP轴承座并穿过支撑板与齿轮连接，且所述花键轴另一端与凸轮组件相连接，所述花键套套装于花键轴上，所述石墨铜轴套套装于花键轴上，所述凸轮组件套装于花键轴上，所述直齿条安裝于支撑板上，且所述齿轮与直齿条相契合，所述导轮安裝于支撑板上，且所述导轮与直齿条相匹配，所述凸轮到位感应器安裝于气缸上，所述凸轮复位感应器安裝于气缸上。优选的，所述冷却结构包括：一对阀体冷却铜水管；一对所述阀体冷却铜水管安置于阀体兩端面表面。优选的，所述密封结构包括：三個箱体密封槽；所述箱体密封槽开设于阀体兩端面表面和侧表面。优选的，所述固定结构包括：若干箱体连接紧固螺栓孔；若干所述箱体连接紧固螺栓孔开设于阀体兩端面表面和侧表面。本专利技术具有以下的有益效果：本专利技术通过把传统的立式连续真空磁控溅射镀膜生产线的插板门阀中张开动力都是使用气缸或波纹管驱动结构更改为凸轮结构，解决了门阀因气缸或波纹管在门阀内内漏问题，改善了检漏条件，生产工艺及产品镀膜环境，提升了镀膜产品品质，使真空镀膜产品更具竞争力，此技术的应用将使连续真空磁控溅射镀膜线的稳定性和真空环境得到质的提升。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。图1为本专利技术的一种凸轮结构插板阀装置的结构示意图；图2为本专利技术的插板阀的主视三维图；图3为本专利技术的插板阀的后视三维图；图4为本专利技术的插板阀的结构示意图；图5为本专利技术的插板阀的主视图；图6为本专利技术的插板阀的左示意图；图7为本专利技术的插板阀的右示意图；图8为本专利技术的插入动作机构的三维视图；图9为本专利技术的插入动作机构的右侧视图；图10为本专利技术的插入动作机构的左侧视图；图11为本专利技术的插入动作机构的局部示意图；图12为本专利技术的凸轮张开机构的三维视图；图13为本专利技术的凸轮张开机构的主视图；图14为本专利技术的凸轮张开机构的局部示意图；图15为本专利技术的门阀板组件的结构示意图；图16为本专利技术的门阀板组件的俯视图；图17为本专利技术的门阀板组件的侧视图；图18为本专利技术的门阀板组件的局部示意图；图19为本专利技术的门阀板组件的三维视图；图20为本专利技术的磁流体的结构示意图。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种凸轮结构插板阀装置，其特征在于，包括:/n插板阀(1)；/n第一真空箱体(2)，所述第一真空箱体(2)安裝于插板阀(1)上；/n第二真空箱体(3)，所述第二真空箱体(3)安裝于插板阀(1)上；/n所述第一真空箱体(2)、第二真空箱体(3)与插板阀(1)两端面密封连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种凸轮结构插板阀装置，其特征在于，包括:
插板阀(1)；
第一真空箱体(2)，所述第一真空箱体(2)安裝于插板阀(1)上；
第二真空箱体(3)，所述第二真空箱体(3)安裝于插板阀(1)上；
所述第一真空箱体(2)、第二真空箱体(3)与插板阀(1)两端面密封连接。


2.根据权利要求1所述的一种凸轮结构插板阀装置，其特征在于，所述插板阀(1)包括：阀体(11)、门阀安装板(12)、门阀板组件(13)、插入动作机构(14)、凸轮张开机构(15)、冷却结构(16)、密封结构(17)、固定结构、一对导杆座(18)、一对导杆(19)以及一对导杆轴承套(20)；
所述门阀安装板(12)安裝于阀体(11)侧上表面，且所述门阀安装板(12)与阀体(11)端面密封连接，所述门阀板组件(13)安裝于安装板(12)上，所述插入动作机构(14)安裝与安装板(12)上，且所述插入动作机构(14)与门阀板组件(13)相连接，所述凸轮张开机构(15)安裝于门阀板组件(13)上，且所述凸轮张开机构(15)与门阀板组件(13)相连接，所述冷却结构(16)安裝于阀体(11)上，所述密封结构(17)安置于阀体(11)兩端表面和一侧表面上，所述固定结构开设于阀体(11)兩端表面和一侧表面上，一对所述导杆座(18)安裝于门阀安装板(12)上，所述导杆(19)安裝于相对应的导杆座(18)上，一对所述导杆轴承套(20)安裝于门阀板组件(13)上，且每个所述导杆(19)与相对应的导杆轴承套(20)相连接。


3.根据权利要求2所述的一种凸轮结构插板阀装置，其特征在于，所述门阀板组件(13)包括：门阀压板(131)、门阀侧板(132)、复位弹簧组件(133)、凸轮组件(134)、凸轮轴固定块(135)、门阀密封板(136)以及门阀平整调节螺栓组(137)；
所述门阀侧板(132)安裝于导杆轴承套(20)上，所述复位弹簧组件(133)安裝于门阀压板(131)和门阀密封板(136)上，所述凸轮轴固定块(135)安裝于门阀侧板(132)内侧表面上，每个所述凸轮组件(134)安裝于相对应的所述凸轮轴固定块(135)上，所述门阀密封板(136)通过复位弹簧组件(133)对门阀压板(131)连接固定，所述门阀平整调节螺栓组(137)安裝于凸轮轴固定块(135)上。


4.根据权利要求3所述的一种凸轮结构插板阀装置，其特征在于，所述插入动作机构(14)包括：三个固定架(141)、三个UCF轴承座(142)、插入动力马达座(143)、插入动力马达(144)、联轴组件(145)、插入动力转动轴(146)、插入到位感应器(147)、插入复位感应器(148)、一对磁流体(149)、一对伞形齿轮组(150)、一对扭力限制联轴器(151)、一对感应器丝杆(152)以及一对感应器丝杆螺母(153)；
三个所述固定架(141)安裝于门阀安装板(12)上，每个所述UCF轴承座(142)安裝于相对应的固定架(141)上，所述插入动力马达座(143)安裝于门阀安装板(12)上，所述插入动力马达(144)安裝于插入动力马达座(143)上，所述联轴组件(145)安裝于插入动力马达(144)上，所述插入到位感应器(147)和插入复位...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小军，张华林，唐鑫，光宣标，
申请(专利权)人：深圳市三鑫精美特玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44