太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法技术

本发明专利技术提供一种太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，在内管的吸热段的外壁依次溅射靶材而形成红外反射层、低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层；在低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层的靶材中分别掺杂了一定比例的金属钒；对所述低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层进行高温氧化热处理，使金属钒完全氧化为二氧化钒，并使低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层中分别掺杂了占各自总量2％～40％摩尔比的二氧化钒。

【技术实现步骤摘要】
太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法
本专利技术涉及一种太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法。
技术介绍
全玻璃真空太阳能集热管发展了30余年，形成了太阳能光热利用领域，并在太阳能热水应用中得到广泛的应用。影响全玻璃真空集热管热性能的主要因素之一为选择性吸收涂层的设计与工艺。目前常规全玻璃真空太阳能集热管选择性吸收涂层工艺主要有两种，一种是以铝靶或铝合金靶为溅射靶材，实施的铝-氮铝选择性吸收涂层磁控溅射镀膜工艺；另一种是铜靶、铝靶和不锈钢靶为主的铜-铝-不锈钢三靶磁控溅射工艺，多采用氮气或氮氧混合气体作为反应气体。无论是采用单靶磁控溅射工艺，还是三靶磁控溅射工艺，影响涂层性能的主要包括选择性吸收涂层的三层结构，即以铜或铝或铝合金为主的金属红外反射层，以铝或铝和不锈钢为主的金属及金属氧化物或氮化物，或氮氧化物组成的包括低电阻层、过渡层、高电阻层的吸收层，以及金属铝氧化物或氮氧化物组成的减反射层。现有工艺采用磁控溅射镀膜过程中，特别是在镀金属铝氧化物的减反射层时，由于最佳的镀膜工艺应控制在溅射工艺反应气体工艺拐点位置，但在实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，所述太阳能集热管具有密闭连接的内管与罩玻璃管，其特征在于：/n在内管的吸热段的外壁依次溅射靶材而形成红外反射层、低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层；在低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层的靶材中分别掺杂了一定比例的金属钒；/n对所述低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层进行高温氧化热处理，使金属钒完全氧化为二氧化钒，并使低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层中分别掺杂了占各自总量2％～40％摩尔比的二氧化钒。/n

【技术特征摘要】
1.一种太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，所述太阳能集热管具有密闭连接的内管与罩玻璃管，其特征在于：
在内管的吸热段的外壁依次溅射靶材而形成红外反射层、低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层；在低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层的靶材中分别掺杂了一定比例的金属钒；
对所述低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层进行高温氧化热处理，使金属钒完全氧化为二氧化钒，并使低电阻层、过渡层、高电阻层和减反层中分别掺杂了占各自总量2％～40％摩尔比的二氧化钒。


2.根据权利要求1所述的太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，其特征在于，在所述内管的吸热段与罩玻璃管之间形成真空夹层。


3.根据权利要求1所述的太阳能集热管的选择性吸收涂层镀膜方法，其特征在于：低电阻层是以金属铝、钛、不锈钢、镍及其氧化物中的任意一种或任意数种的混合物为基质，再掺杂二氧化钒，其中二氧化钒占总量的摩尔比为5％-20％，涂层厚度为50-150nm，方...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩成明，薛道荣，
申请(专利权)人：河北道荣新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13