【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊
本专利技术涉及真空镀膜
,具体为一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法及真空气囊。
技术介绍
真空气相沉积技术是指,在初始真空态前提下,对真空态的工艺腔室内通入工艺气体,然后对工艺气体以及镀膜衬底施加反应条件,例如温度、电场、辐射、激光等,让工艺气体与沉底发生理化反应,最终在沉底上成膜。现有加工工序是:首先将放置待镀膜基片的基片承载盘经过通过导轨、滚轮或者其它传输装置进入镀膜工艺腔体,然后在对工艺腔体通过真空泵等方式进行真空抽气。因为真空腔室有传输基片的需求,内部还需要安装加热器、工艺气体入口等大量可能会干涉的部件,所以大部分时候不能直接将真空腔体做成异型的,即无论何种镀膜需求都使用同样真空腔体;很多时候对真空腔体的抽气所需的时间过长,进而导致加工工时边长,进而导致整体加工工序成本变高。
技术实现思路
为了解决现有的镀膜工序中对真空腔体抽气所需时间过长导致整体加工工序成本变高的问题,本专利技术提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其可以有效的缩短真空腔体抽气时间,提高工作效率,降低加工成本。同时本专利技术还公开了一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速用真空气囊。本专利技术的技术方案是这样的:一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其包括以下步骤:S1:将放置待镀膜基片的基片承载盘通过进出片腔体运传输至所述工艺发生腔体;S2:对所述进出片腔体进行真空抽取;其特征在于,其还包括以下步骤:在步骤S2实施之前,实施以下 ...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其包括以下步骤:/nS1:将放置待镀膜基片的基片承载盘通过进出片腔体运传输至所述工艺发生腔体;/nS2:对所述进出片腔体进行真空抽取;/n其特征在于,其还包括以下步骤:/n在步骤S2实施之前,实施以下步骤:/na1:预先按照所述进出片腔体的体积,准备本次需要使用的抽气提速用真空气囊;/na2:将所述真空气囊预先进行真空抽气;/na3:将内部处于真空状态所述真空气囊放入所述进出片腔体中。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其包括以下步骤:
S1:将放置待镀膜基片的基片承载盘通过进出片腔体运传输至所述工艺发生腔体;
S2:对所述进出片腔体进行真空抽取;
其特征在于,其还包括以下步骤:
在步骤S2实施之前,实施以下步骤:
a1:预先按照所述进出片腔体的体积,准备本次需要使用的抽气提速用真空气囊;
a2:将所述真空气囊预先进行真空抽气;
a3:将内部处于真空状态所述真空气囊放入所述进出片腔体中。
2.根据权利要求1所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其特征在于:根据工艺需要,所述真空气囊放置于所述基片承载盘单侧或者双侧。
3.根据权利要求1所述一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法,其特征在于:根据所...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶飞,刘晓萌,
申请(专利权)人:无锡爱尔华光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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