一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，包括：真空镀膜机、炉盖、两组真空抽气组件以及限位组件，所述真空镀膜机底端固定设置有基座，所述炉盖通过铰链活动安装在真空镀膜机一侧，且所述炉盖的端处通过锁扣与真空镀膜机连接，两组所述真空抽气组件匹配安装在真空镀膜机两侧壁，所述限位组件匹配安装在真空镀膜机两侧。本实用新型专利技术使用便捷，可快速的进行真空抽气处理，且整体真空效率高，通过在真空抽气管内壁贴合安装有加热板，利用加热板作用下，可稳定的将真空抽气管内壁进行局部的升温处理，保证了整体抽气的通过性，规避了真空抽气管内壁的温度过低与真空镀膜机内部的温度气体接触形成水雾的状况发生。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置
本技术涉及镀膜机设备领域，具体为一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，同时在使用中，需要使用抽气装置对镀膜机内部进行真空抽气处理，且传统的抽气装置在使用时，整体使用局限性较大，且无法稳定的进行真空抽气处理。现有技术有以下不足：传统的抽气装置在使用时，整体使用局限性较大，且无法稳定的进行真空抽气处理，整体抽气效率较低，影响了整体抽气效果，同时传统的抽气装置在进行真空抽气时，极易因抽气管内壁温度较低与真空镀膜机内部温度气体接触形成水滴，极大的影响了整体真空精度，使用效果不佳。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，以解决统的抽气装置在使用时，整体使用局限性较大，且无法稳定的进行真空抽气处理，整体抽气效率较低，影响了整体抽气效果，同时传统的抽气装置在进行真空抽气时，极易因抽气管内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，包括：真空镀膜机（1）、炉盖（2）、两组真空抽气组件以及限位组件，所述真空镀膜机（1）底端固定设置有基座（3），所述炉盖（2）通过铰链活动安装在真空镀膜机（1）一侧，且所述炉盖（2）的端处通过锁扣与真空镀膜机（1）连接，两组所述真空抽气组件匹配安装在真空镀膜机（1）两侧壁，所述限位组件匹配安装在真空镀膜机（1）两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，包括：真空镀膜机（1）、炉盖（2）、两组真空抽气组件以及限位组件，所述真空镀膜机（1）底端固定设置有基座（3），所述炉盖（2）通过铰链活动安装在真空镀膜机（1）一侧，且所述炉盖（2）的端处通过锁扣与真空镀膜机（1）连接，两组所述真空抽气组件匹配安装在真空镀膜机（1）两侧壁，所述限位组件匹配安装在真空镀膜机（1）两侧。


2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于：两组所述真空抽气组件均真空抽气管（4）、高压真空泵（5），所述真空抽气管（4）的端处与真空镀膜机（1）内部连通，所述真空抽气管（4）的另一端远离真空镀膜机（1）侧壁安装，所述高压真空泵（5）匹配安装在真空抽气管（4）的端处。


3.根据权利要求1所述的一种镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于：所述限位组件包括两组一号限位环（6）、两组二号限位环（7）、两组固定板（8）以及两组螺纹杆（9），两组所述一号限位环（6）安装在真空镀膜机（1）两侧，且两组所述一号限位环（6）的端处与真空抽气管（4）底端贴合限...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆海伟，
申请(专利权)人：东莞市伟信真空服务有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44