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本发明提供一种真空镀膜生产线真空腔抽气提速方法，其可以有效的缩短真空腔体抽气时间，提高工作效率，降低加工成本。本发明技术方案中，通过设置一种真空气囊，将真空气囊预先进行真空抽气，然后放入进出片腔体，达到缩短抽真空时间，提高工作效率的目的。同...
该专利属于无锡爱尔华光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡爱尔华光电科技有限公司授权不得商用。

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