温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明为一种凸轮结构插板阀装置，涉及插板阀领域，解决了在连续真空磁控溅射镀膜装置中，大部分使用转板阀装置和插板阀装置来进行进、出口隔离，而以前的插板阀都是使用的气缸或波纹管驱动结构，因温度、疲劳、外力等作用下，造成气缸密封川老化漏气、波纹管...
该专利属于深圳市三鑫精美特玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市三鑫精美特玻璃有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。