【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微结构和微器件的制造。
技术介绍
微器件通常包括在操作期间可以互相接触的部件。例如，安装在该反射镜板可以倾斜到"开"位置，此时微型反射镜板把入射光引导到 显示装置，并且可以倾斜到"关"位置，此时微型反射镜板引导入射光 离开显示装置。反射镜板可以由机械停止机构停止在"开，，或"关"位 置，以使反射镜板的方向可被精确地限定在这两个位置。为了使微型 反射镜正确地工作，反射镜板必须能够在"开"和"关，，位置之间快速改 变而没有任何延迟。例如，当合适的静电力被施加到反射镜板而使其 朝向"关"位置倾斜时，在"开"位置上与机械停止机构接触的反射镜板 必须能够立即与机械停止机构分离。
技术实现思路
在一个总的方面中，本专利技术涉及用于制造微结构的方法。该方法包括在衬底上形成第一结构部分；在笫一结构部分上配置牺牲材料； 在牺牲材料和衬底上淀积第一结构金属层；除去牺牲材料的至少一部 分，以在第一结构材料中形成第二结构部分，其中第二结构部分和村 底相连接，并可在第一位置和第二位置之间运动，在第一位置上，第 二结构部分和第一结构部分分离，而在第二位置上，第二结构部分和 第一...
【技术保护点】
一种用于制造微结构的方法，该方法包括： 在衬底上形成第一结构部分； 在第一结构部分上配置牺牲材料； 在牺牲材料和衬底上淀积第一结构材料层； 除去牺牲材料的至少一部分，以在第一结构材料层中形成第二结构部分，其中第二结构部分和衬底相连接，并可在第一位置和第二位置之间运动，其中，在第一位置上第二结构部分和第一结构部分相分离，而在第二位置上第二结构部分和第一结构部分相接触；以及 在第二结构部分的表面和第一结构部分的表面中的至少一个上形成碳层，用于降低在第二结构部分和第一结构部分之间的粘着。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。