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本发明提供了一种用于制造微结构的方法，包括：在衬底上形成第一结构部分；在第一结构部分上配置牺牲材料；在牺牲材料和衬底上淀积一层第一结构材料；除去牺牲材料的至少一部分，以在第一结构材料层中形成第二结构部分；以及在第二结构部分的表面或第一结构部...
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