【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学薄膜技术，具体是指一种三腔多通道光谱阶跃式集成滤 光片。
技术介绍
高光谱遥感作为当前遥感技术发展的一个前沿领域，越来越显现出其巨 大的应用潜力，该技术己在航空、航天领域得到了广泛的应用。精细分光技 术是高光谱遥感技术的一个重要环节，它直接决定了遥感仪器的信息获取量 以及光谱分辨率。目前国内外普遍采用的分光方式主要有棱镜分光、光栅分光、傅立叶分 光和滤光片分光等。采用前三种分光方式，相应的设备要占据较大空间，难 以满足航空航天仪器轻量化、小型化的要求。集成滤光片阵列是二十世纪末 兴起的一种微型轻量化的空间分光器件，可以将滤光片阵列放在成像焦面上 进行分光，也可以将它和探测器阵列结合，直接与探测器的像元对应。国内 外对采用单腔结构的微型集成滤光片也有一些报道，但采用单腔结构的滤光 片由于能量效率低、光谱交叠严重等原因而难以应用到工程中。多腔微型集 成滤光片的出现简化了分光元件，提高了系统的光学效率，增强了系统的可 靠性，为航空航天仪器的小型化、轻量化提供了强力支持。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种多腔微型集成滤光片，解决航空航天仪器轻量...
【技术保护点】
一种三腔多通道光谱阶跃式集成滤光片，其特征在于：它具有以下膜系结构：基底｜（ＬＨ）＾２（２－Ｘ↓［ｉ］）Ｌ（ＨＬ）＾４Ｈ（２－Ｘ↓［ｉ］）Ｌ（ＨＬ）＾４Ｈ（２－Ｘ↓［ｉ］）ＬＨＬＨ｜入射介质其中，基底（１）材料采用人工合成蓝宝石或者熔融石英；入射介质的折射率在１．０－１．２之间，一般为空气；Ｈ和Ｌ分别代表光学厚度为四分之一中心波长的高、低折射率膜层，高、低折射率材料组合根据膜系从可见到红外波段的工作波长选择；Ｘ↓［ｉ］为第ｉ个通道所处位置的间隔层（２）的刻蚀系数，该系数根据通道的中心波长以及膜系结构参数按常规方法来计算确定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：段微波，刘银年，刘定权，陈小文，张凤山，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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