一种基于多层膜的高光谱成像仪中滤光片阵列制备方法技术

技术编号:13449346 阅读:101 留言:0更新日期:2016-08-01 18:50
本发明专利技术公开了一种基于多层膜的高光谱成像仪中滤光片阵列制备方法,通过使用在特定的位置开有多个孔的镀膜掩膜模具,来实现滤光片阵列的制备。首先将制备好的一种镀膜掩膜模具置于目标基底之上,并在该种掩膜模具上镀上一种透过率的膜,在该镀膜掩膜模具特定开孔位置上,这种透过率的膜会透过镀膜掩膜模具的开孔镀在目标基底上相应的像元上,通过依次更换镀膜掩膜模具并重复上述过程,从而最终在目标基底上制备出所需的滤光片阵列。此方法简单易行,在制备高光谱成像仪中滤光片阵列时有效防止了不同透过率滤光片之间的串扰,具有良好的可操作性。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于多层膜的高光谱成像仪中滤光片阵列制备方法,首先制备一定数量的在特定的位置开有多个孔的镀膜掩膜模具,然后将制备好的一种镀膜掩膜模具置于目标基底之上,并镀上与该镀膜掩膜模具相对应的一种透过率的膜,在该镀膜掩膜模具特定开孔位置上,这种透过率的膜会透过镀膜掩膜模具的孔,从而镀在目标基底上相应的像元上。通过依次更换镀膜掩膜模具并重复上述过程,从而最终在目标基底上制备出所需的滤光片阵列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张雷洪聂睿黄元申
申请(专利权)人:上海理工大学
类型:发明
国别省市:上海;31

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