一种新型拉晶用石英针及其专用热屏制造技术

一种新型拉晶用石英针及其专用热屏，包括第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆，本方案为一种U形石英针，其结构对称，重心不偏移，且两端重量相一致，在拉晶过程中不易倾斜、不抖动，相对于现有的L形石英针，判断热屏与液面之间的距离更加准确，有效提高拉晶质量。

【技术实现步骤摘要】
一种新型拉晶用石英针及其专用热屏
本技术涉及拉晶
，尤其涉及一种新型拉晶用石英针及其专用热屏。
技术介绍
在拉晶过程中，为保证拉晶温度的稳定性、氩气流速的稳定性、晶棒直径的稳定性，使热屏与液面之间保持一定的距离，一般使用传统方法，加入石英针作为参照物来判断热屏与液面之间的距离变化。而目前所用石英针为L形状，挂到热屏上后，一边重，一边轻，容易发生倾斜，造成距离判断不准，影响拉晶状况。
技术实现思路
有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种新型拉晶用石英针及其专用热屏。一种新型拉晶用石英针及其专用热屏，包括第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆，所述第一竖杆与第二竖杆相对设置，所述第一弧形杆一端与第一竖杆连接，所述第二弧形杆一端与第二竖杆连接，所述第一弧形杆另一端与第二弧形杆另一端在第一竖杆及第二竖杆一侧相对设置，所述横杆设置于第一弧形杆与第二弧形杆之间，所述第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆连接为U形石英针。优选的，所述第一竖杆与第二竖杆结构相同，所述第一竖杆为圆棒，所述第一弧形杆、第二弧形杆结构相同，所述第一弧形杆为弧形圆棒，所述横杆为圆棒。优选的，所述第一竖杆直径为φ1，所述横杆直径为φ2，所述第一弧形杆直径为φ3，所述φ1、φ2、φ3直径相同。优选的，所述第一竖杆与第二竖杆之间的距离为D1，所述第一竖杆的长度为L1，所述L1为D1的1~5倍。优选的，所述第一弧形杆外侧半径为r1，所述第一弧形杆内侧半径为r2，所述r1为r2的2~4倍。优选的，所述第一竖杆远离第一弧形杆一侧的端部还开设有倒角，所述倒角为C0.2~C0.5。优选的，还设置有石英针专用热屏，所述专用热屏为圆筒状腔体，且在专用热屏一端内侧设置有支撑圆环，所述支撑圆环上表面靠近专用热屏轴线一侧还开设有凹槽，所述支撑圆环靠近凹槽一侧还开设有石英针通孔。本方案为一种U形石英针，其结构对称，重心不偏移，且两端重量相一致，在拉晶过程中不易倾斜、不抖动，相对于现有的L形石英针，判断热屏与液面之间的距离更加准确，有效提高拉晶质量。附图说明图1为新型拉晶用石英针及其专用热屏的俯视示意图。图2为图1的轴侧示意图。图3为石英针与专用热屏的连接示意图。图4为图3的局部剖视图。图中：石英针10、第一竖杆11、第二竖杆12、第一弧形杆13、第二弧形杆14、横杆15、专用热屏20、支撑圆环21、凹槽22、石英针通孔23。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。参见图1，本技术提供了一种新型拉晶用石英针10及其专用热屏20，包括第一竖杆11、第二竖杆12、第一弧形杆13、第二弧形杆14、横杆15，所述第一竖杆11与第二竖杆12相对设置，所述第一弧形杆13一端与第一竖杆11连接，所述第二弧形杆14一端与第二竖杆12连接，所述第一弧形杆13另一端与第二弧形杆14另一端在第一竖杆11及第二竖杆12一侧相对设置，所述横杆15设置于第一弧形杆13与第二弧形杆14之间，所述第一竖杆11、第二竖杆12、第一弧形杆13、第二弧形杆14、横杆15连接为U形石英针10。具体的，所述第一竖杆11、第二竖杆12、第一弧形杆13、第二弧形杆14、横杆15为高纯石英圆棒，通过一体化成型为U形石英针10。进一步，所述第一竖杆11与第二竖杆12结构相同，所述第一竖杆11为圆棒，所述第一弧形杆13、第二弧形杆14结构相同，所述第一弧形杆13为弧形圆棒，所述横杆15为圆棒，所述第一竖杆11、第一弧形杆13、横杆15横截面皆为圆形，更有利于U形石英针10重心保持一致，提升热屏与液面之间距离的观测质量。进一步，所述第一竖杆11直径为φ1，所述横杆15直径为φ2，所述第一弧形杆13直径为φ3，所述φ1、φ2、φ3直径相同，以进一步使U形石英针10重心保持一致。进一步，所述第一竖杆11与第二竖杆12之间的距离为D1，所述第一竖杆11的长度为L1，所述L1为D1的1~5倍，以使U形石英针10重心位于靠近横杆15的一侧，更有利于观测热屏与液面之间的距离。进一步，所述第一弧形杆13外侧半径为r1，所述第一弧形杆13内侧半径为r2，所述r1为r2的2~4倍，以使第一弧形杆13质量满足测量要求。进一步，所述第一竖杆11远离第一弧形杆13一侧的端部还开设有倒角，所述倒角为C0.2~C0.5，以提高U形石英针10成型质量。进一步，还设置有石英针10专用热屏20，所述专用热屏20为圆筒状腔体，且在专用热屏20一端内侧设置有支撑圆环21，所述支撑圆环21上表面靠近专用热屏20轴线一侧还开设有凹槽22，所述凹槽22呈直线型，其尺寸与石英针10尺寸相匹配，所述支撑圆环21靠近凹槽22一侧还开设有石英针通孔23，所述石英针通孔23为2个，其尺寸与石英针10尺寸相匹配。具体的，将石英针10设置于专用热屏20的石英针通孔23中，使石英针10圆弧端卡接于专用热屏20中，确保石英针10在测量过程中位置对称、不偏移，同时石英针10直线端穿过石英针通孔23并与晶液液面相对，以准确测量热屏与晶液液面之间的距离。本技术实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。以上所揭露的仅为本技术较佳实施例而已，当然不能以此来限定本技术之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本技术权利要求所作的等同变化，仍属于技术所涵盖的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型拉晶用石英针及其专用热屏，其特征在于：包括第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆，所述第一竖杆与第二竖杆相对设置，所述第一弧形杆一端与第一竖杆连接，所述第二弧形杆一端与第二竖杆连接，所述第一弧形杆另一端与第二弧形杆另一端在第一竖杆及第二竖杆一侧相对设置，所述横杆设置于第一弧形杆与第二弧形杆之间，所述第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆连接为U形石英针。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型拉晶用石英针及其专用热屏，其特征在于：包括第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆，所述第一竖杆与第二竖杆相对设置，所述第一弧形杆一端与第一竖杆连接，所述第二弧形杆一端与第二竖杆连接，所述第一弧形杆另一端与第二弧形杆另一端在第一竖杆及第二竖杆一侧相对设置，所述横杆设置于第一弧形杆与第二弧形杆之间，所述第一竖杆、第二竖杆、第一弧形杆、第二弧形杆、横杆连接为U形石英针。


2.如权利要求1所述的新型拉晶用石英针及其专用热屏，其特征在于：所述第一竖杆与第二竖杆结构相同，所述第一竖杆为圆棒，所述第一弧形杆、第二弧形杆结构相同，所述第一弧形杆为弧形圆棒，所述横杆为圆棒。


3.如权利要求1或2所述的新型拉晶用石英针及其专用热屏，其特征在于：所述第一竖杆直径为φ1，所述横杆直径为φ2，所述第一弧形杆直径为φ3，所述φ1、φ2、φ3直径相...

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠保，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64