一种化学气相沉积炉进气改进机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉进气改进机构，属于化学气相沉积领域，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述炉体内部设有炉腔，所述进气装置包括通气管，所述通气管自上而下环绕炉腔外侧设置，所述炉腔外侧沿通气管长度方向均匀设置有通孔，所述通气管上相应设置有贯通通孔的支管，所述支管连通炉腔和通气管，所述支管与通孔密封设置。本实用新型专利技术它不仅结构简单，设计合理，而且能够炉腔内部高度方向各处进气量相同，能够改善产品沉积效果，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉进气改进机构
本技术属于化学气相沉积领域，具体涉及一种化学气相沉积炉进气改进机构。
技术介绍
传统的化学气相沉积炉，需沉积的原料通常为静态的，由于碳源气体在炉内压差分布不均匀，在靠近进气点附近的化学反应相对充分，随着气体的继续上升，使得碳源气体在表层原料和内部原料上沉积的浓度有差异，从而导致不均匀。目前解决该问题的方法之一为：停炉后进行倒炉操作，然后再次启动沉积炉进行沉积，但该方法费事费力，导致生产效率低下。因此，有必要提出一种化学气相沉积炉进气改进机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学气相沉积炉进气改进机构，它不仅结构简单，设计合理，而且能够炉腔内部高度方向各处进气量相同，能够改善产品沉积效果，提高生产效率。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积炉进气改进机构，包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述炉体内部设有炉腔，所述进气装置包括通气管，所述通气管自上而下环绕炉腔外侧设置，所述炉腔外侧沿通气管长度方向均匀设置有通孔，所述通气管上相应设置有贯通通孔的支管，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉进气改进机构，其特征在于：包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述炉体内部设有炉腔，所述进气装置包括通气管，所述通气管自上而下环绕炉腔外侧设置，所述炉腔外侧沿通气管长度方向均匀设置有通孔，所述通气管上相应设置有贯通通孔的支管，所述支管连通炉腔和通气管，所述支管与通孔密封设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉进气改进机构，其特征在于：包括炉体和设于所述炉体底部的进气装置，所述炉体内部设有炉腔，所述进气装置包括通气管，所述通气管自上而下环绕炉腔外侧设置，所述炉腔外侧沿通气管长度方向均匀设置有通孔，所述通气管上相应设置有贯通通孔的支管，所述支管连通炉腔和通气管，所述支管与通孔密封设置。


2.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉进气改进机构，其特征在于：所述炉体内部设置有保温层，所述保温层围成所述炉腔。


3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：余斌，余海粟，朱轶方，陆骁莹，
申请(专利权)人：杭州超然金刚石有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33