用于化学沉积的上部电极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于化学沉积的上部电极，包括呈板状结构的本体，该本体上具有均匀分布的气孔，所述气孔贯穿本体的厚度方向两侧，所述气孔包括从上至下同轴设置的保压段、增压段和释放段，其中保压段和增压段均呈圆柱状，且保压段直径大于增压段直径，所述增压段呈下大上小的圆台状结构。通过改变上部电极气孔形状和分布方式，同时优化气孔各部分尺寸，最终达到增加气孔缓冲气量，确保各出气口端出气充足且均匀，同时保证气体扩散覆盖面积，提高产品表面膜质均匀性的目的，改善产品良品率。

【技术实现步骤摘要】
用于化学沉积的上部电极
本技术涉及化学气相沉积(CVD)设备领域，其用于在基板表面沉积所需的薄膜，具体涉及一种用于化学沉积的上部电极。
技术介绍
在进行液晶显示屏等类型产品的生产开发时，通常会采用化学气相沉积方法在其表面形成所需的薄膜，该工艺通常在专用的工序腔中完成，工序腔中除了用于固定产品的承载平台之外，还有与承载平台对应设置的上部电极，上部电极上分布有气孔，而工序腔中在上部电极的上方则设有导气板，化学沉积气体通过设置在导气板内的主孔道，再经由安装在主孔道端部的导向结构向四周扩散，最终通过上部电极上的气孔后沉积到产品的表面，然而因为现有上部电极上的气孔多为标准柱孔结构，各气孔内有效缓冲气量较少，且因为采用同尺寸标准设计，直接导致沉积到产品上的薄膜质量不均匀，产品中部薄膜明显比外侧的要厚，大大降低了产品质量。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种用于化学沉积的上部电极，可有效增加气体流动时的缓冲气量，提高出气量均匀性，有利于在产品表面形成均匀膜质，提高产品质量。为实现上述目的，本技术技术方案如下：一种用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于化学沉积的上部电极，包括呈板状结构的本体(2)，该本体(2)上具有均匀分布的气孔(20)，所述气孔(20)贯穿本体(2)的厚度方向两侧，其特征在于：所述气孔(20)包括从上至下同轴设置的保压段(200)、增压段(201)和释放段(202)，其中保压段(200)和增压段(201)均呈圆柱状，且保压段(200)直径大于增压段(201)直径，所述增压段(201)呈下大上小的圆台状结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于化学沉积的上部电极，包括呈板状结构的本体(2)，该本体(2)上具有均匀分布的气孔(20)，所述气孔(20)贯穿本体(2)的厚度方向两侧，其特征在于：所述气孔(20)包括从上至下同轴设置的保压段(200)、增压段(201)和释放段(202)，其中保压段(200)和增压段(201)均呈圆柱状，且保压段(200)直径大于增压段(201)直径，所述增压段(201)呈下大上小的圆台状结构。


2.根据权利要求1所述的用于化学沉积的上部电极，其特征在于：所述本体(2)的厚度为30.3mm-30.7mm，增压段(201)长度为1.9mm-2.1mm，释放段(202)的长度为7.8mm-8mm，其中增压段(201)的直径为...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东一，梁君，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50