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本实用新型公开了一种用于化学沉积的上部电极，包括呈板状结构的本体，该本体上具有均匀分布的气孔，所述气孔贯穿本体的厚度方向两侧，所述气孔包括从上至下同轴设置的保压段、增压段和释放段，其中保压段和增压段均呈圆柱状，且保压段直径大于增压段直径，所...
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