【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在航空航天部件上沉积涂层的方法
本公开内容的实施方式一般地涉及沉积工艺，且特别地涉及在航空航天部件上沉积膜的气相沉积工艺。
技术介绍
由于暴露于热气体和/或反应性化学物质(例如，酸、碱或盐)，涡轮发动机通常具有随着时间而腐蚀或降级的部件。此类涡轮部件常常由热和/或化学阻挡涂层保护。在暴露于燃气涡轮发动机中的燃烧热气体的机翼上使用的既用于环境保护又用作热阻挡涂层(thermalbarriercoating；TBC)系统中的粘结涂层的当前涂层包括扩散铝化物和各种金属合金涂层。这些涂层被涂布在基板材料(通常是镍基超合金(superalloy))上，以提供抗氧化和腐蚀的保护。这些涂层以多个不同方式形成在基板上。例如，铝化镍层可仅通过将基板在高温下暴露于富铝环境来作为外涂层生长在镍基超合金上。铝扩散至基板中并且与镍结合以形成镍铝合金的外表面。可通过首先在镍基基板之上电镀铂至预定厚度来形成铂改性的铝化镍涂层。在高温下将镀铂基板暴露于富铝环境引起在固溶体中的含铂的镍铝合金的外部区域生长。在过量铝的存在下，铂铝具有两相，当铝扩散到镍...
【技术保护点】
1.一种在航空航天部件上沉积涂层的方法，包含：/n将航空航天部件暴露于第一前驱物和第一反应物以通过化学气相沉积(CVD)工艺或第一原子层沉积(ALD)工艺在所述航空航天部件的表面上形成第一沉积层；/n将所述航空航天部件暴露于第二前驱物和第二反应物以通过第二ALD工艺在所述第一沉积层上形成第二沉积层，其中所述第一沉积层和所述第二沉积层具有彼此不同的成分。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180319 US 62/644,608;20180319 US 62/644,645;20181.一种在航空航天部件上沉积涂层的方法，包含：
将航空航天部件暴露于第一前驱物和第一反应物以通过化学气相沉积(CVD)工艺或第一原子层沉积(ALD)工艺在所述航空航天部件的表面上形成第一沉积层；
将所述航空航天部件暴露于第二前驱物和第二反应物以通过第二ALD工艺在所述第一沉积层上形成第二沉积层，其中所述第一沉积层和所述第二沉积层具有彼此不同的成分。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述第一沉积层是通过ALD工艺形成并且所述方法进一步包含顺序地将所述航空航天部件暴露于所述第一前驱物和所述第一反应物以形成所述第一沉积层。
3.如权利要求2所述的方法，其中所述第一ALD工艺的每一循环包含将所述航空航天部件暴露于所述第一前驱物，进行抽吸-净化，将所述航空航天部件暴露于所述第一反应物，且进行抽吸-净化；并且每一循环重复从2次至约500次以在形成所述第二沉积层之前形成所述第一沉积层。
4.如权利要求1所述的方法，其中所述第一沉积层是通过CVD工艺形成并且所述方法进一步包含同时地将所述航空航天部件暴露于所述第一前驱物和所述第一反应物以形成所述第一沉积层。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述第一沉积层包含氧化铬、氮化铬、氧化铝或氮化铝，其中所述第二沉积层包含氧化铝、氮化铝、氧化硅、氮化硅、碳化硅、氧化钇、氮化钇、氮化硅钇、氧化铪、氮化铪、硅化铪、硅酸铪、氧化钛、氮化钛、硅化钛、硅酸钛或上述各项的任何组合，且其中如果所述第一沉积层包含氧化铝或氮化铝，那么所述第二沉积层则不包含氧化铝和氮化铝。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一前驱物包含铬前驱物或铝前驱物，并且所述第一反应物包含氧化剂、氮化剂或上述各项的组合；且其中所述第二前驱物包含铝前驱物或铪前驱物，并且所述第二反应物包含氧化剂、氮化剂或上述各项的组合。
7.如权利要求1所述的方法，其中所述第一前驱物或所述第二前驱物包含铝前驱物，并且其中所述铝前驱物包含三(烷基)铝、三(烷氧基)铝、二酮酸铝、上述各项的络合物、上述各项的外展物、上述各项的盐或上述各项的任何组合。
8.如权利要求1所述的方法，其中纳米叠层膜堆叠包含所述第一沉积层和所述第二沉积层，并且所述方法进一步包含在增加所述纳米叠层膜堆叠的厚度的同时沉积从2对至约500...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤里·梅尔尼克，苏克蒂·查特吉，考沙尔·冈加什卡尔，乔纳森·弗兰克尔，兰斯·A·斯卡德尔，普拉文·K·纳万克尔，大卫·布里兹，托马斯·奈斯利，马克·沙丽，戴维·汤普森，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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