化学沉积气体导向板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学沉积气体导向板，包括呈圆盘状结构的本体，所述本体上具有至少两个贯穿其上下两侧的导向孔，所述导向孔沿本体的周向均匀分布，从导向孔上端进入的气体，在所述导向孔的作用下，能够以向外扩散的流态从导向孔的下端溢出，并向本体的下方四周扩散。在不改变原有导气板上注入孔直径前提下，通过导向板上导向孔作用，以增加气体扩散面积，同时加快扩散速度，避免气体在中部聚集，大大提高注入化学气体沉积覆盖面积和沉积均匀度等，保证产品气相沉积效率和薄膜质量，最终改善产品良品率。

【技术实现步骤摘要】
化学沉积气体导向板
本技术涉及化学气相沉积(CVD)设备领域，其用于在基板表面沉积所需的薄膜，具体涉及一种化学沉积气体导向板。
技术介绍
在进行液晶显示屏等类型产品的生产开发时，通常会采用化学气相沉积方法在其表面形成所需的薄膜，该工艺通常在专用的工序腔中完成，工序腔中除了用于固定产品的承载平台之外，还有与承载平台对应设置的上部电极，上部电极上分布有气孔，而工序腔中在上部电极的上方则设有导气板，化学沉积气体通过设置在导气板内的主孔道，再经由安装在主孔道端部的导向结构向四周扩散，最终通过上部电极上的气孔后沉积到产品的表面，然而因为受工序腔高度空间的限制，故设置在导气板上的导向结构通常比较复杂，且引导扩散效果不理想，导致气体扩散覆盖面积局限较大，最终影响产品外围的沉积薄膜质量，同样会降低产品质量。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提供了一种化学沉积气体导向板，用于辅助提高气体扩散能力，使起具有较大扩散覆盖面积，且降低对气体的流速影响，以此保证产品气相沉积薄膜质量和沉积效率等。为实现上述目的，本技术技术方案如下：一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学沉积气体导向板，其特征在于：包括呈圆盘状结构的本体(4)，所述本体(4)上具有至少两个贯穿其上下两侧的导向孔(40)，所述导向孔(40)沿本体(4)的周向均匀分布，从导向孔(40)上端进入的气体，在所述导向孔(40)的作用下，能够以向外扩散的流态从导向孔(40)的下端溢出，并向本体(4)的下方四周扩散。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学沉积气体导向板，其特征在于：包括呈圆盘状结构的本体(4)，所述本体(4)上具有至少两个贯穿其上下两侧的导向孔(40)，所述导向孔(40)沿本体(4)的周向均匀分布，从导向孔(40)上端进入的气体，在所述导向孔(40)的作用下，能够以向外扩散的流态从导向孔(40)的下端溢出，并向本体(4)的下方四周扩散。


2.根据权利要求1所述的化学沉积气体导向板，其特征在于：所述导向孔(40)为与本体(4)同心的扇形条孔，并呈下大上小的锥状。


3.根据权利要求1或2所述的化学沉积气体导向板，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东一，梁君，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50