下载化学沉积气体导向板的技术资料

文档序号:26420712

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本实用新型公开了一种化学沉积气体导向板,包括呈圆盘状结构的本体,所述本体上具有至少两个贯穿其上下两侧的导向孔,所述导向孔沿本体的周向均匀分布,从导向孔上端进入的气体,在所述导向孔的作用下,能够以向外扩散的流态从导向孔的下端溢出,并向本体的下...
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